[实用新型]一种可拉伸的电容式柔性应变传感器

权利要求书

1.一种可拉伸的电容式柔性应变传感器，包括：上封装层(1)和位于另一侧与上封装层(1)一同封装传感器的下封装层(7)，其特征在于，所述上封装层(1)下端面粘合有上弹性结合层(2)，所述上弹性结合层(2)的下端面粘合有第一导电层(3)，且第一导电层(3)与外部第一电极(8)相连接，所述第一导电层(3)的下端面粘合有弹性介电层(4)，所述弹性介电层(4)端面上粘合有第二导电层(5)，第二导电层(5)的上下端面均与弹性介电层(4)粘合且与外部第二电极(9)相连接，所述下封装层(7)的上端面粘合有下弹性结合层(6)。

2.根据权利要求1所述的一种可拉伸的电容式柔性应变传感器，其特征在于，所述弹性介电层(4)和第一导电层(3)两层一侧对第二导电层(5)进行包裹，形成U型半包裹结构。

3.根据权利要求1所述的一种可拉伸的电容式柔性应变传感器，其特征在于，所述上封装层(1)和下封装层(7)厚度均小于20μm；所述第一导电层(3)与第二导电层(5)厚度均小于20μm；所述上弹性结合层(2)和下弹性结合层(6)厚度为50μm～700μm；所述弹性介电层(4)厚度为50μm～700μm。

4.根据权利要求1所述的一种可拉伸的电容式柔性应变传感器，其特征在于，所述上弹性结合层(2)和下弹性结合层(6)的材料均采用Ecoflex；所述弹性介电层(4)的材料采用Ecoflex。

5.根据权利要求1所述的一种可拉伸的电容式柔性应变传感器，其特征在于，所述第一导电层(3)与外部第一电极(8)之间电性连接，所述第二导电层(5)与外部第二电极(9)之间电性连接。