[实用新型]一种用于晶圆解胶的UV照射机

说明书

本实用新型公开的属于晶圆切片技术领域，具体为一种用于晶圆解胶的UV照射机，包括外框架和流水线，所述流水线贯穿框架，所述外框架的内腔前后侧均安装有导向杆，两侧所述导向杆的上方活动安装有滑行机构，所述滑行机构的本体上安装有LED灯，本装置在框架的内腔中设置有导向杆，然后将滑行机构与导向杆活动连接，滑行机构可以带着LED灯沿着导向杆进行移动，通过调节滑行机构的位置，可以使得当晶圆需要照射时，晶圆正好流动到滑行机构的下方，从而使得LED灯可以对晶圆进行照射解胶，进而使得UV照射机可以对不同规格的晶圆进行解胶。

技术领域

本实用新型涉及晶圆切片技术领域，具体为一种用于晶圆解胶的UV照射机。

背景技术

UVLED光源照射机简称UV照射机，它是一种可根据需要选择365nm、385nm、395nm、405nm波长的不同功率的LED。晶圆在切片过程中，需要先用UV胶把晶圆固定起来，然后进行划片加工处理，随后通过UV照射机对固定好的晶圆进行照射，使晶元上的UV胶膜发生硬化，这时晶圆与UV胶膜之间的粘性便会降低，从而使得UV胶膜可以被从晶圆切片上取下来。

UV照射机中采用多个独立的LED照射头组成多个独立工位，这样可以通过电脑编程模式来控制LED照射头的照射次序及照射功率，从而减少人为操作而导致的时间误差，但是现有的UV照射机中的多个独立LED照射头均是固定的，晶圆在流水线上移动时，受于移动速度限制，当对其它规格的晶圆进行解胶时，会出现在尚未到达照射时间时，晶圆就流动到LED照射头的下方情况，此时会导致晶圆无法被正常照射。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆解胶的UV照射机，以解决上述背景技术中提出的现有的UV照射机中的多个独LED照射头无法移动的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶圆解胶的UV照射机，包括外框架和流水线，所述流水线贯穿框架，所述外框架的内腔前后侧均安装有导向杆，两侧所述导向杆的上方活动安装有滑行机构，所述滑行机构的本体上安装有LED灯。

优选的，所述滑行机构包括下框架和照射板，所述下框架的上方安装有直线导轨，所述直线导轨的上端贯穿照射板并连接有顶板，所述顶板的上方安装有气缸，所述气缸的伸缩杆贯穿顶板并与照射板连接。

优选的，所述外框架的本体前后侧均通过合页连接有防护门。

优选的，所述滑行机构的左右侧均设置有定位块，所述定位块套设在导向杆的外侧。

优选的，两侧所述导向杆上的定位块之间连接有支撑板，所述支撑板的上下侧均设置有挡光板。

优选的，两侧所述导向杆的外侧均设置有刻度标尺。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本装置在框架的内腔中设置有导向杆，然后将滑行机构与导向杆活动连接，滑行机构可以带着LED灯沿着导向杆进行移动，通过调节滑行机构的位置，可以使得当晶圆需要照射时，晶圆正好流动到滑行机构的下方，从而使得LED灯可以对晶圆进行照射解胶，进而使得UV照射机可以对不同规格的晶圆进行解胶。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型主视图局部剖视结构示意图；

图3为本实用新型滑行机构左视结构示意图；

图4为本实用新型定位块左视结构示意图。

图中：1框架、2流水线、3防护门、4导向杆、5定位块、6挡光板、7滑行机构、71下框架、72直线导轨、73照射板、74顶板、75气缸、8支撑板。

具体实施方式