[实用新型]面板激光修复设备

权利要求书

1.一种面板激光修复设备，其特征在于，包括：

激光光源，所述激光光源用于发出平行的激光光束；

光束均匀度改善模块，所述光束均匀度改善模块设置在所述激光光束的下游，所述光束均匀度改善模块包括平行设置的第一级微透镜阵列、第二级微透镜阵列和傅里叶透镜，所述激光光束依次经过所述第一级微透镜阵列、所述第二级微透镜阵列和所述傅里叶透镜，发射至显示面板上。

2.根据权利要求1所述的面板激光修复设备，其特征在于，所述第一级微透镜阵列与所述第二级微透镜阵列的距离d大于所述第一级微透镜阵列的后焦距f。

3.根据权利要求1所述的面板激光修复设备，其特征在于，所述第一级微透镜阵列和所述第二级微透镜阵列均包括多排平行设置的微透镜排，每个所述微透镜排包括多个依次排列的微透镜，每个所述微透镜排的相邻两个所述微透镜的圆心的距离a为r为每个所述微透镜的半径，每排所述微透镜排的多个所述微透镜的圆心的连线为圆心线，相邻两排所述微透镜排的圆心线之间的垂直距离b为

4.根据权利要求1所述的面板激光修复设备，其特征在于，还包括激光偏振片，所述激光偏振片设置在所述激光光束的光路上，且所述激光偏振片位于所述第一级微透镜阵列的沿激光的发射方向的光路上游。

5.根据权利要求1所述的面板激光修复设备，其特征在于，还包括折射组件，所述折射组件用于改变所述激光光束的方向，沿激光的发射方向所述折射组件位于所述第一级微透镜阵列的光路上游。

6.根据权利要求1所述的面板激光修复设备，其特征在于，还包括孔板，沿激光的发射方向所述孔板设置在所述傅里叶透镜的光路下游，所述孔板上设置有多个不同尺寸的通孔，所述激光光束经过所述通孔到达所述显示面板，以调节所述显示面板上光点的尺寸。

7.根据权利要求6所述的面板激光修复设备，其特征在于，还包括显微倍镜和显示屏，沿激光的发射方向所述显微倍镜设置在所述孔板的光路下游，所述激光光束经过所述显微倍镜到达所述显示面板，所述显示屏与所述显微倍镜通讯连接，所述显示屏能够显示所述显微倍镜观测到的所述显示面板。

8.根据权利要求1-7任一项所述的面板激光修复设备，其特征在于，还包括修复平台，所述修复平台用于放置所述显示面板。

9.根据权利要求8所述的面板激光修复设备，其特征在于，还包括X轴滑轨和X轴滑块，所述X轴滑块滑动连接于所述X轴滑轨，所述激光光源和所述光束均匀度改善模块均连接于所述X轴滑块。

10.根据权利要求9所述的面板激光修复设备，其特征在于，还包括Y轴滑桥和两个Y轴滑轨，两个所述Y轴滑轨平行间隔设置在所述修复平台上，所述Y轴滑桥的两端分别滑动连接于两个所述Y轴滑轨，所述X轴滑轨设置在所述Y轴滑桥上，所述Y轴滑轨的长度方向与所述X轴滑轨的长度方向相垂直。