[实用新型]一种单晶炉控制柜

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉控制柜，包括控制柜壳体，所述控制柜壳体的一侧顶部设置有触摸屏，所述触摸屏下方设置有手操器，所述手操器的下方设置有一排多个重载连接器，所述重载连接器下方设置有航空插头，所述控制柜壳体的另一侧靠近顶部的位置设置有电源指示灯，所述电源指示灯下方也设置有一排多个的所述重载连接器，所述重载连接器下方设置有应急操作盒，该种单晶炉控制柜，可以将单晶炉控制柜的主要电气元件布置在同一柜内，不仅缩短了相互间线缆连接，提高了柜内的整洁度，也降低了后续日常维护和检修的工作量，本实用新型增加了人机交互功能，更便于工作人员操作，通过控制线缆作用于单晶炉运动部件及传感器部件，实现单晶炉全自动控制。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉设备领域，具体为一种单晶炉控制柜。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉生产拉制的金属单晶，杂质极少，纯度极高，以硅单晶为例，纯度可达99.9999999％-99.99999999％这样高的纯度。这种材料是国防、军工上的基础材料，是宇宙飞船、人造卫星、火箭、导弹等传动方面必不可少的基本材料。因此，单晶炉是目前工业特别是半导体工业上的一项具有特殊用途的设备。

单晶炉控制柜是用于单晶炉运行的操控电气设备，目前现有的单晶炉控制柜通常是由多个控制柜组合到一起形成的，集成化程度较低，单晶炉主要电气元件布置在不同柜体内，相互之间通过缆线连接，控制柜内线缆杂乱，不便于单晶炉控制柜的日常维护和检修，而且单晶炉控制柜的人机交互性能差，在紧急情况下人工难以实时对单晶炉进行操作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶炉控制柜，以解决上述背景技术中提出的目前市场上现有的单晶炉控制柜线缆杂乱、不便于单晶炉控制柜的日常维护和检修、人机交互性能差的问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种单晶炉控制柜，包括控制柜壳体，所述控制柜壳体的一侧顶部设置有触摸屏，所述触摸屏下方设置有手操器，所述手操器的下方设置有一排多个重载连接器，所述重载连接器下方设置有航空插头，所述控制柜壳体的另一侧靠近顶部的位置设置有电源指示灯，所述电源指示灯下方也设置有一排多个的所述重载连接器，所述重载连接器下方设置有应急操作盒，所述控制柜壳体内部空间被多个横置的隔绝板分隔为多个独立安装室，其中最上方的所述独立安装室内安装有空气开关一、开关电源和温度控制器，所述开关电源下方的所述独立安装室内安装有PLC模块、I/O模块和接口转换器，所述I/O模块下方的所述独立安装室内安装有中间继电器，所述中间继电器下方的所述独立安装室内安装有滤波器，所述滤波器下方的所述独立安装室内设置有空气开关二和接线端子，所述接线端子下方的所述独立安装室内设置有伺服驱动器。

优选的，所述航空插头的下方设置有一个散热风机，所述电源指示灯的上方设置有一个所述散热风机。

优选的，所述接口转换器与所述应急操作盒之间设置有毛刷走线盒，所述控制柜壳体的底部设置有两个毛刷走线盒。

优选的，所述散热风机与所述PLC模块电连接，所述PLC模块与所述温度控制器电连接。

优选的，所述伺服驱动器侧边设置有接地排。

优选的，所述伺服驱动器与所述接地排上方铺设有隔热板，所述隔热板与所述控制柜壳体通过螺栓固定连接。

采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果为：

该种单晶炉控制柜，可以将单晶炉控制柜的主要电气元件布置在同一柜内，不仅缩短了相互间线缆连接，提高了柜内的整洁度，也降低了后续日常维护和检修的工作量，本实用新型增加了人机交互功能，更便于工作人员操作，通过控制线缆作用于单晶炉运动部件及传感器部件，实现单晶炉全自动控制。

附图说明