[实用新型]一种物体成分及浓度的探测装置有效

专利信息
申请号: 202222070530.6 申请日: 2022-08-08
公开(公告)号: CN218646853U 公开(公告)日: 2023-03-17
发明(设计)人: 岳文君;孙嵘 申请(专利权)人: 苏州星帆华镭光电科技有限公司
主分类号: G01N21/71 分类号: G01N21/71;G01N21/01
代理公司: 南京天华专利代理有限责任公司 32218 代理人: 张磊
地址: 215636 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 物体 成分 浓度 探测 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种物体成分及浓度的探测装置,包括:激光诱导击穿光谱仪,其结构包括:壳体、以及设置在所述的壳体中的激光器、光谱仪、聚焦透镜和耦合透镜,壳体上还设置有与聚焦透镜的焦距相配合的样品台、以及驱动所述的样品台作水平圆周运动的旋转驱动装置或者驱动所述的样品台沿着垂直于激光照射方向作直线运动的平移驱动装置,样品台位于所述聚焦透镜的上方,样品台上开设有激光照射孔,所述的壳体和旋转驱动装置上开设有与样品台上的激光照射孔相对应的激光照射过孔。本实用新型所述物体成分及浓度的探测装置尤其适用于对镀层、铝箔等厚度较薄的样品进行探测。

技术领域

本实用新型涉及到一种采用激光诱导击穿光谱仪对物体中成分及浓度进行探测的装置。

背景技术

目前,采用传统的激光诱导击穿光谱仪(LIBS)对物体中的成分及其浓度进行探测时,样品是固定不动的,从而导致多个脉冲激光打在样品的同一个点上,导致样品表面产生的刻痕较深。这对于诸如镀层、铝箔等厚度较薄的样品来说容易被击穿;此外,由于激光刻痕较短,导致样品表面激发等离子体面积较小,对于表面不均匀的样品来说,探测结果的波动较大,大大影响到探测结果的重复性和稳定性。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种可以获得设定深度和长度刻痕的物体成分及浓度的探测装置。

为了解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案为:一种物体成分及浓度的探测装置,包括:激光诱导击穿光谱仪,其结构包括:壳体109、以及设置在所述的壳体109中的激光器101、光谱仪103、聚焦透镜104和耦合透镜105,壳体109上还设置有与聚焦透镜104的焦距相配合的样品台106、以及驱动所述的样品台106作水平圆周运动的旋转驱动装置2或者驱动所述的样品台106沿着垂直于激光照射方向作直线运动的平移驱动装置,样品台106位于聚焦透镜104的上方,样品台106上开设有激光照射孔,所述的壳体109和旋转驱动装置2上开设有与样品台106上的激光照射孔相对应的激光照射过孔。

作为一种优选方案,在所述的一种物体成分及浓度的探测装置中,所述光谱仪103为光纤光谱仪。

作为一种优选方案,在所述的一种物体成分及浓度的探测装置中,所述旋转驱动装置2的具体结构包括:设置在所述壳体109上的转接板204,转接板204上通过回转用轴承202活动设置有回转齿轮208,所述的样品台106设置在回转齿轮208上,所述的壳体109上还设置有回转驱动电机206,回转驱动电机206的驱动轴上设置有与所述的回转齿轮208啮合的回转驱动齿轮205;所述旋转驱动装置2上的激光照射过孔包括:分别开设在转接板204、回转用轴承和回转齿轮208上的激光照射过孔。

作为一种优选方案,在所述的一种物体成分及浓度的探测装置中,所述旋转驱动装置2采用蜗轮螺杆结构。

作为一种优选方案,在所述的一种物体成分及浓度的探测装置中,所述的平移驱动装置为单齿型平移驱动装置4,其结构包括:设置在所述样品台106一侧的第一滑块406、设置在所述壳体109上的第一滑动座405、以及设置在所述样品台106另一侧上的单齿条402,所述的第一滑动座405上开设有与第一滑块406相配合的滑槽,第一滑块406滑动设置在所述第一滑动座405上的滑槽中,壳体109上设置有第一平移驱动电机404,第一平移驱动电机404的驱动轴上设置有与所述的单齿条402啮合的平移驱动齿轮403。

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