[实用新型]一种用于消除电池硅片表面静电的移动式风刀

说明书

本实用新型属于电池硅片生产设备技术领域，涉及一种用于消除电池硅片表面静电的移动式风刀。针对现有技术中用于用于消除电池硅片表面静电的风刀为固定式，硅片接受的离子风不均匀，硅片边缘存在吹风盲区，边缘的风呈凌乱的状态，导致正负离子相互碰撞提前中和，消除静电的效果差，造成硅片不能完全分开，出现吸盘印、隐裂或双片等不良品率高的技术问题，本方案提供了一种用于消除电池硅片表面静电的移动式风刀：包括设置在支架上的风刀，所述支架一端连接升降装置，另一端向下倾斜，使风刀的倾斜方向与水平面之间呈锐角。可使电池硅片表面静电清除干净，硅片分离率提高，且对硅片损害小，碎片率降低。

技术领域

本实用新型属于电池硅片生产设备技术领域，具体地，涉及一种用于消除电池硅片表面静电的移动式风刀。

背景技术

风刀在工业领域中存在大量吹风除水或吹风除尘等应用，如吹除钢板，铝合金型材等平面上的灰尘、水分，以及传送带清理等。在有压缩空气供应的条件下，风刀可完美的满足这些应用。风刀是可以采用涡流风机或高压离心风机驱动(代替高能耗的压缩空气)，它使用不同的风机与风刀配合，可及时把物体表面的尘屑及水分吹干。除了具有吹干水分的作用，将风刀和去静电装置结合，可用于太阳能电池硅片生产领域，电池硅片表面静电的去除工序。使硅片分开，避免造成吸盘印、隐裂或双片等不良品的出现。

但传统的风刀大多都是固定式的，如图1所示，风向始终固定在一个区域，呈中心向硅片边缘扩散的趋势。硅片接受的离子风不均匀，且角落上有盲区。边缘的风呈凌乱的状态，会导致很多正负离子相互碰撞，提前中和，失去消除静电的效果，不能很好的消除掉硅片上的静电。中国发明专利申请公布号CN113532090A，申请日为2020年04月17日，名称为：一种风刀及太阳能电池湿法处理设备，公开的风刀包括第一壳体和第二壳体，第一壳体与第二壳体的开口端连接；第一壳体具有第一腔体，第一壳体表面设置有进风口，进风口与第一腔体连通；第一腔体中部的高度大于第一腔体两端的高度；第二壳体包括第一表面；第二壳体具有第二腔体，第二腔体与第一腔体连通；第一表面上设置有多个排风通道，排风通道与第二腔体连通，排风通道的延伸方向与第一表面垂直设置，每个排风通道与第二壳体长度方向之间的夹角相等。可见，该风刀由每个排风通道吹出的气体的速度趋于相等，且气体吹出的角度相同，使风刀出风均匀，在一定程度上优化了出风的方向以及在硅片上的压力分布，提高吹干效果的同时降低碎片率，但该方案的风刀制备方式复杂，提高了成本，且没有解决硅片在垂直方向上风力分布不均的技术问题。

现有技术中有移动式的风刀，如中国实用新型专利授权公告号CN202853306U，申请日为2012年08月08日，名称为：硅片表面吹干装置，公开的装置将带有吹风孔的风刀上连接在驱动机构上，可使风刀左右移动，用于硅片表面的吹干。但该装置不能调节角度，且主要用于太阳能电池片生产工艺中清洗和湿刻工序，保证硅片流入下道工序时是干燥的。若将其应用于电池硅片静电去除工序的场景，平行于石英舟水平移动风刀起不到本质的改变，反而容易吹碎硅片。

发明内容

1.发明要解决的技术问题

针对现有技术中用于用于消除电池硅片表面静电的风刀为固定式，硅片接受的离子风不均匀，硅片边缘存在吹风盲区，边缘的风呈凌乱的状态，导致正负离子相互碰撞提前中和，消除静电的效果差，造成硅片不能完全分开，出现吸盘印、隐裂或双片等不良品率高的技术问题，本方案提供了一种用于消除电池硅片表面静电的移动式风刀，可使电池硅片表面静电清除干净，硅片分离率提高，且对硅片损害小，碎片率降低。

2.技术方案

为达到上述目的，提供的技术方案为：

本实用新型的一种用于消除电池硅片表面静电的移动式风刀，包括风刀，所述风刀设置在支架上；还包括升降装置，所述支架一端连接所述升降装置，另一端向下倾斜，所述风刀的倾斜方向与水平面之间呈锐角。

进一步地，所述锐角为10～45°。