[实用新型]一种镀膜设备模块化安装平台

说明书

本实用新型提供了一种镀膜设备模块化安装平台，所述镀膜设备模块化安装平台包括至少两个预埋组件、连接组件、弹性胶垫和固定桩，连接组件包括相互匹配的主连接件和被连接件；通过主连接件和被连接件将预埋组件连接在一起，通过固定桩将预埋组件固定在地底，并在所述镀膜设备模块化安装平台的空隙中填充弹性胶垫；主连接件与被连接件之间的安装拆卸灵活，在预埋组件入坑时即可自动配合固定，弹性胶垫减缓振动，防止平台的损坏；而且搭建简单，省略浇筑的步骤，节约搭建时间，移动搬运方便。

技术领域

本实用新型属于溅射镀膜技术领域，涉及镀膜设备的安装，尤其涉及一种镀膜设备模块化安装平台。

背景技术

电致变色材料的科研和制作设备种类繁多，有溅射法、热蒸发法、溶胶-凝胶法、化学气相沉积法、电沉积法等方式。其中，溅射法原理是采用高能量的惰性气体的离子轰击靶材，飞溅出来的靶材原子或分子沉积到基板上形成薄膜。溅射法对于高熔点和低气压的元素材料同样能适应，使用范围广。制作出来的薄膜均匀性好，致密性高，和基板贴合紧密，不易脱落而且适用于各种尺寸基板需求。溅射法的溅射设备种类、外观形状也存在多样化，有立式、卧式，垂直单桶式以及垂直多桶式结构，且功能配置上也有较多可选择性。

目前电致变色专用镀膜设备在安装固定方式复杂，没有模块化的安装平台，因此在安装时较为不便，而且安装之后就不能移动设备。因此，需要设计一种安装简单、可灵活移动的镀膜设备的模块化平台。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种镀膜设备模块化安装平台，所述镀膜设备模块化安装平台中主连接件与被连接件之间的安装拆卸灵活，在预埋组件入坑时即可自动配合固定；弹性胶垫减缓振动，防止平台的损坏；且搭建简单，省略浇筑的步骤，节约搭建时间，移动搬运方便。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种镀膜设备模块化安装平台，所述镀膜设备模块化安装平台包括至少两个预埋组件、连接组件、弹性胶垫和固定桩；

所述预埋组件包括预埋件主体、至少两个定位件和至少两个钉桩孔；所述定位件开设在所述预埋件主体的顶面上；所述钉桩孔沿竖直方向垂直贯穿所述预埋件主体；

所述连接组件包括相互匹配的主连接件和被连接件，所述主连接件和所述被连接件分别固定在相邻的两个预埋组件上，将所述预埋组件连接在一起；

所述固定桩贯穿所述钉桩孔将所述预埋组件固定在地底；

所述弹性胶垫填充在所述镀膜设备模块化安装平台的空隙中。

本实用新型所述所述镀膜设备模块化安装平台中主连接件与被连接件之间的安装拆卸灵活，在预埋组件入坑时即可自动配合固定；弹性胶垫减缓振动，防止平台的损坏；且搭建简单，省略浇筑的步骤，节约搭建时间，移动搬运方便。

作为本实用新型的一种技术方案，所述预埋件主体的形状为长方体。

作为本实用新型的一种技术方案，所述定位件包括工字型定位轨道和/或蜂窝孔定位板。

作为本实用新型的一种技术方案，所述钉桩孔为锥形孔；所述钉桩孔的顶端直径大于底端直径。

作为本实用新型的一种技术方案，所述主连接件包括第一固定板和转动卡扣。

作为本实用新型的一种技术方案，所述第一固定板和所述预埋件主体通过第一螺栓进行固定；所述转动卡扣通过转轴固定在所述第一固定板远离所述预埋件主体的一面；所述第一固定板和所述转动卡扣之间的转轴上套设有扭簧。

作为本实用新型的一种技术方案，所述转动卡扣为半S型卡扣，包括相连接的圆弧端和尾端。

作为本实用新型的一种技术方案，所述被连接件包括第二固定板和卡扣锁止板。