[实用新型]一种光阻剂吸管及光阻瓶

权利要求书

1.一种光阻剂吸管，用于安装到光阻瓶上以吸取内部的光阻剂，其特征在于，包括：

软管，所述软管位于所述光阻瓶内部的管体长度大于所述光阻瓶的深度；

重力球，包括通过所述重力球的球心的通孔，所述通孔包括第一端和第二端，所述软管与所述第一端连接，所述光阻剂从所述第二端进入所述软管；所述重力球的密度大于所述光阻剂的密度。

2.根据权利要求1所述的光阻剂吸管，其特征在于，所述重力球的表面设置有凸起结构。

3.根据权利要求2所述的光阻剂吸管，其特征在于，所述凸起结构包括多个在所述重力球的表面均匀分布的点状凸起。

4.根据权利要求3所述的光阻剂吸管，其特征在于，所述凸起结构的表面为圆滑的曲面。

5.根据权利要求2所述的光阻剂吸管，其特征在于，所述凸起结构为环绕所述重力球的环形凸起。

6.根据权利要求1所述的光阻剂吸管，其特征在于，所述重力球内还设置有配重空腔，用于容纳质量块以改变所述重力球的密度，所述配重空腔与所述通孔间隔设置。

7.根据权利要求1-6任一项所述的光阻剂吸管，其特征在于，所述重力球包括由所述第一端向外延伸的连接部，所述软管通过所述连接部与所述第一端连接；

所述连接部设有中空部，所述中空部将所述软管与所述通孔连通。

8.根据权利要求7所述的光阻剂吸管，其特征在于，所述第一端的直径小于所述第二端的直径，并且所述通孔的孔径由所述第二端向所述第一端圆滑过渡。

9.一种光阻瓶，包括设有瓶口的瓶体，和盖设于所述瓶口处的瓶塞，其特征在于，还包括权利要求1-8任一项所述的光阻剂吸管，所述光阻剂吸管贯穿所述瓶塞设置，所述重力球位于所述瓶体内。

10.根据权利要求9所述的光阻瓶，其特征在于，还包括设置于所述瓶塞上的进气孔，用于连接进气管，以在涂光阻剂的工艺中向所述光阻瓶通入气体。