[实用新型]一种GAN工艺冷却机组

说明书

本实用新型提供一种GAN工艺冷却机组，涉及GAN冷却技术领域。该GAN工艺冷却机组，包括冷却箱，所述冷却箱的上表面固定安装有与内部连通的冷气机，冷却箱的内部设置有固定网，固定网的左侧面固定连接有转轴，固定网的右侧面固定连接有同心轴，同心轴的右端转动贯穿冷却箱的右侧内壁，转轴的左端转动贯穿冷却箱的左侧内壁，冷却箱的左侧设置有环筒。该GAN工艺冷却机组，通过设置推块、棱杆、棱套和导轨块，转轴转动半周后，受力杆重新掉落到两个导轨块之间，推块在伸缩杆A的带动下向左移动，使活动网远离固定网，完成对原料的翻面，解决了原料的一面一直与撑料结构接触，这样造成原料受冷不均匀，冷却速度较慢的问题。

技术领域

本实用新型涉及GAN冷却技术领域，具体为一种GAN工艺冷却机组。

背景技术

GaN属于宽禁带半导体材料，它具有优异的物理和化学性质，如禁带宽度大、击穿电场强度高、饱和电子漂移速度大、热导率高及抗辐照性能强、热导率和介电常数大，化学特性稳定等，特别适合制作高压、高温、高频、高功率、强辐照环境下使用的半导体器件。

GaN在加工流程中，主要对原料进行冷却，现今的冷却机组在冷却时，一般将原料放在撑料结构上，通过向原料喷冷气进行冷却，但是原料的一面一直与撑料结构接触，这样造成原料受冷不均匀，冷却速度较慢。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种GAN工艺冷却机组，解决了原料的一面一直与撑料结构接触，这样造成原料受冷不均匀，冷却速度较慢的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种GAN工艺冷却机组，包括冷却箱，所述冷却箱的上表面固定安装有与内部连通的冷气机，冷却箱的内部设置有固定网，固定网的左侧面固定连接有转轴，固定网的右侧面固定连接有同心轴，同心轴的右端转动贯穿冷却箱的右侧内壁，转轴的左端转动贯穿冷却箱的左侧内壁，冷却箱的左侧设置有环筒，固定网的下方设置有活动网，活动网与固定网之间设置有弹簧A，弹簧A的上下两端分别与固定网和活动网固定连接，活动网的左下方设置有推块，推块的左侧面固定连接有棱套，棱套的左端滑动插接有棱杆，转轴滑动套接在棱杆的外表面，棱杆的左端面固定连接有受力杆，环筒的内部固定插接有两个导轨块，受力杆位于两个导轨块之间，棱套的内部设置有弹簧B，弹簧B的两端分别与棱套的右侧内壁与棱杆的右端固定连接，推块的左侧面固定连接有伸缩杆A，伸缩杆A的左端与转轴固定连接，冷却箱的右侧面固定连接有电动机，电动机的输出端与同心轴的右端固定连接，环筒的上下两端均固定连接有伸缩杆B，两个伸缩杆B的右端与冷却箱的左侧面固定连接，环筒的左侧设置有挡板，挡板的前后两端均滑动套接有固定框，两个固定框的右端均与冷却箱的右侧面固定连接。

优选的，所述推块的上方设置有滚轮，滚轮与活动网铰接，推块的上表面为倾斜面。

优选的，两个伸缩杆B平行设置，两个伸缩杆B以转轴的轴线上下对称分布，同心轴和转轴同轴设置，转轴与棱杆偏心设置。

优选的，所述伸缩杆B的弹性大于弹簧B和伸缩杆A的弹性，弹簧B的弹性大于伸缩杆A的弹性。

优选的，所述弹簧A的内部设置有垂直杆，垂直杆的上端与固定网固定连接，垂直杆的下端滑动贯穿活动网的上表面，弹簧A的数量为四个，四个弹簧A分别位于活动网的四角处。

优选的，所述导轨块的一侧外面为螺旋倾斜面，导轨块的另一侧面为平面，两个导轨块以环筒的轴线圆周阵列均匀分布。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种GAN工艺冷却机组。具备以下有益效果：