[实用新型]一种剥离液废液处理系统

权利要求书

1.一种剥离液废液处理系统，其特征在于，包括依次连接的第一缓冲装置(100)、回收装置(200)以及第二缓冲装置(300)；

所述第一缓冲装置(100)用于使剥离液废液依次经过所述回收装置(200)以及所述第二缓冲装置(300)，其中，所述回收装置(200)用于过滤所述剥离液废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子以获得回收液，所述第二缓冲装置(300)用于接收并处理所述回收液，以生成剥离液。

2.根据权利要求1所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述回收装置(200)包括依次连接的过滤器(210)、吸附器(220)以及金属离子去除器(230)，且所述过滤器(210)与所述第一缓冲装置(100)连接，所述金属离子去除器(230)与所述第二缓冲装置(300)连接。

3.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述过滤器(210)包括滤芯(211)，所述滤芯(211)为孔隙结构且底部呈锥状，所述过滤器(210)用于使所述剥离液废液由上至下经过所述滤芯(211)，以过滤所述剥离液废液中的光刻胶渣质。

4.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述吸附器(220)包括依次设置的加热件(221)、吸附件(222)以及过滤件(223)，所述吸附器(220)用于使所述剥离液废液依次经过所述加热件(221)、所述吸附件(222)和所述过滤件(223)，以通过所述吸附件(222)吸附所述剥离液废液中的颗粒物。

5.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述金属离子去除器(230)包括至少一个离子交换柱(231)，所述离子交换柱(231)用于交换所述剥离液废液中的杂质离子。

6.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，第一缓冲装置(100)包括第一缓冲罐(110)，所述第一缓冲罐(110)用于接收所述剥离液废液并将所述剥离液废液向所述过滤器(210)输送。

7.根据权利要求6所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述第一缓冲罐(110)包括离心器，所述离心器用于去除所述剥离液废液中的沉淀物。

8.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述第二缓冲装置(300)包括第二缓冲罐(310)和补充罐(320)，所述第二缓冲罐(310)与所述金属离子去除器(230)以及所述补充罐(320)连接，所述补充罐(320)用于向所述第二缓冲罐(310)补充原料。

9.根据权利要求8所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述第二缓冲装置(300)和所述过滤器(210)、所述吸附器(220)以及所述金属离子去除器(230)之间分别设置有第一回流管路(400)、第二回流管路(500)以及第三回流管路(600)，所述第一回流管路(400)、所述第二回流管路(500)以及所述第三回流管路(600)均设置有阀门(700)和泵(800)；

所述第二缓冲罐(310)设置有取样口(311)，所述取样口(311)用于对所述第二缓冲罐(310)内的所述回收液进行取样。

10.根据权利要求8所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述剥离液废液处理系统还包括输送管路(900)，所述输送管路(900)的一端与所述第二缓冲罐(310)连接，另一端用于与工作台(20)连接，以向所述工作台(20)输送重新生成的所述剥离液，所述输送管路(900)设置有泵(800)。