[实用新型]一种薄膜材料制备装置

说明书

本实用新型公开了一种薄膜材料制备装置，涉及薄膜材料制备技术领域，为解决现有薄膜材料制备装置，因为离心式薄膜制备用到的滴管滴液过程会出现液滴落在离心盘飞溅和滴液量控制较难现象，造成薄膜制备难度大、产品制备精度低的问题，本实用新型包括转盘、滴管、转盘驱动电机，所述转盘设置在转盘驱动电机的上方，所述滴管设置在转盘的圆心正上方，所述滴管的内部由制膜液储藏仓和制膜液排出仓组成，所述滴管的上端设置有球阀控制器，所述球阀控制器的内部设置有球阀控制电机，本实用新型利用液滴在球体表面缓流的现象并使用硬质金属丝来引导液滴温和精准地落在离心盘圆心，来实现对滴液精准控制不飞溅的效果。

技术领域

本实用新型涉及薄膜材料制备技术领域，具体为一种薄膜材料制备装置。

背景技术

薄膜旋涂制膜法可以制备有机和无机薄膜，其主要特点是成膜面积大且膜厚高度可控和再生。

在传统薄膜制备装置中，如申请号：202121238194.0；名为：一种晶圆表面薄膜制备装置。该装置包括：薄膜制备固定台板，薄膜制备固定台板的上方固定连接有多通道气滑环，多通道气滑环包括气滑环外壳。通过排气吸附顶盘、泄气管和电磁阀的配合设置，使该晶圆表面薄膜制备装置具备了避免晶圆与工装表面产生空气薄膜提高排气速度进而提高工作效率的效果，通过排气吸附底盘、排气吸附顶盘和抽真空气管的配合设置，使该晶圆表面薄膜制备装置具备了避免硬度高的夹具直接作用在晶圆上且作用力均匀进而避免晶圆破损的效果。

但是，该薄膜材料制备装置，因为离心式薄膜制备用到的滴管滴液过程会出现液滴落在离心盘飞溅和滴液量控制较难现象，造成薄膜制备难度大、产品制备精度低的问题；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种薄膜材料制备装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种薄膜材料制备装置，以解决上述背景技术中提出的现有薄膜材料制备装置，因为离心式薄膜制备用到的滴管滴液过程会出现液滴落在离心盘飞溅和滴液量控制较难现象，造成薄膜制备难度大、产品制备精度低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种薄膜材料制备装置，包括转盘、滴管、转盘驱动电机，其特征在于：所述转盘设置在转盘驱动电机的上方，且转盘驱动电机的上方输出端与转盘传动连接，所述滴管设置在转盘的圆心正上方，所述滴管的内部由制膜液储藏仓和制膜液排出仓组成，且制膜液储藏仓与制膜液排出仓上下排列组合设置，所述滴管的上端设置有球阀控制器。

进一步，所述球阀控制器的内部设置有球阀控制电机，所述制膜液排出仓的内部设置有球阀，且球阀的直径大于滴管下端面洞口的直径，所述滴管的后端设置有制膜液管道，且制膜液管道与制膜液储藏仓的内部管道连接，所述球阀控制器的上端设置有外部连接杆，且外部连接杆与球阀控制器的上端面螺栓固定连接，所述球阀的下端设置有硬质金属丝，且硬质金属丝与球阀固定连接。

进一步，所述球阀的上端设置有复位弹簧，且复位弹簧的两端分别于制膜液排出仓的内壁、球阀的上端面固定连接。

进一步，所述球阀与球阀控制电机的输出端之间设置有牵引线，牵引线贯穿球阀控制器、制膜液储藏仓、制膜液排出仓设置，且牵引线的两端分别于球阀的上端面牵引固定连接、牵引线的输出端卷绕连接设置。

进一步，所述转盘的上端面设置有离心制膜盘，所述转盘的内部设置有电辅热层，且电辅热层设置在离心制膜盘的下方。

进一步，所述滴管的前端设置有通气管，且通气管与制膜液储藏仓的内部管道连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：