[实用新型]一种钉台

说明书

本实用新型公开了一种钉台，包括插接部、夹持部和台面部，夹持部位于台面部的下端面，且与台面部固定连接，插接部与夹持部可拆卸连接，台面部包括圆台，圆台的上端面设有长方体凹槽，圆台上对称的设有两个限位螺丝，两个限位螺丝分别位于长方体凹槽的两端，限位螺丝的一端贯穿圆台的侧壁，且位于长方体凹槽内，限位螺丝与圆台螺纹连接，圆台上还设有固定螺丝，固定螺丝的一端贯穿圆台，且位于长方体凹槽内，固定螺丝与圆台螺纹连接，本实用新型结构合理，芯片放置在长方体凹槽内，通过转动两个限位螺丝，使限位螺丝抵在芯片的两侧，再通过固定螺丝将芯片固定，使得芯片在长方体凹槽内能够保持垂直状态，便于观察。

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片分析技术领域，特别涉及一种钉台。

背景技术

现阶段对半导体芯片内部结构的分析研究，均离不开扫描电子显微镜的观察。扫描电子显微镜因其利用聚焦的很窄的高能电子束来轰击样品，通过电子束与样品的相互作用，激发出各种包含样品的物理信息，能够观察到几何分辨率可达到或优于纳米级的样品微区形貌，在半导体芯片内部结构分析中起到重要的作用。而扫描电子显微镜观察前样品的制备好坏，直接影响观察的速度与效果。

在芯片结构观察中，通常需要制备表面样品与截面样品，表面样品的制备较为简单，但是截面样品的制备存在一定难度。对于大面积芯片截面样品，用现有的截面样品夹具，在制备过程中通过固定螺丝夹紧两块铝块，制备效果上还能接受。

但是对于小面积芯片截面样品，用现有的截面样品夹具，在操作过程中无法避免的会出现样品倾斜的情况，在扫描电镜中观察时，需要倾斜样品台以弥补样品台出现的倾斜，这些弥补性的操作，往往会带来操作时间的增加，且往往会影响观察质量，大大加大了观察分析成本。针对以上问题，以下提出一种解决方案。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种钉台，具有能够方便芯片截面样品制备，保证芯片截面样品保持垂直状态，不发生倾斜，在扫描电子显微镜观察中，提高观察效率与质量，节约成本，降低对实验人员操作要求的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种钉台，包括插接部、夹持部和台面部，所述夹持部位于台面部的下端面，且与台面部固定连接，所述插接部与夹持部可拆卸连接，所述插接部用于固定在扫描电子显微镜上，所述台面部包括圆台，所述圆台的上端面设有长方体凹槽，所述长方体凹槽用于放置芯片，所述圆台上对称的设有两个限位螺丝，两个所述限位螺丝分别位于长方体凹槽的两端，所述限位螺丝的一端贯穿圆台的侧壁，且位于长方体凹槽内，所述限位螺丝与圆台螺纹连接，两个所述限位螺丝用于固定芯片，以使芯片保持垂直状态，所述圆台上还设有固定螺丝，所述固定螺丝的一端贯穿圆台，且位于长方体凹槽内，所述固定螺丝与圆台螺纹连接，所述固定螺丝用于固定芯片。

作为优选，所述圆台的直径为10-13mm，所述圆台的高度为3-5mm，所述长方体凹槽的深度为3-5mm，所述长方体凹槽的长度为7-10mm，所述长方体凹槽的宽度为2-3mm。

作为优选，所述夹持部的外缘上设有夹持凹槽，所述夹持凹槽用于使弯头镊子进行夹持。

作为优选，所述夹持凹槽的外围直径为12mm，所述夹持凹槽的内圈直径为9mm，所述夹持凹槽的高度为2-3mm。

作为优选，所述插接部包括长形圆柱，所述长形圆柱的一端设有外螺纹，所述夹持部的下端面设有螺纹孔，所述长形圆柱与夹持部螺纹连接。

作为优选，所述长形圆柱的直径为1-3mm，所述长形圆柱的长度为6-8mm。

本实用新型的有益效果为：在匹配现有的9孔样品台的同时，通过长方体凹槽内三个方向上限位螺丝和固定螺丝进行限位与固定，可简单方便的进行芯片截面样品的制备，尤其是小面积截面样品，保证芯片截面样品保持垂直状态，不发生倾斜，在扫面电子显微镜观察中，提高观察效率与质量，节约成本，降低对实验人员操作要求。

附图说明