[实用新型]一种正胶显影液自动配制装置

说明书

本实用新型涉及正胶显影液制备技术领域，具体是一种正胶显影液自动配制装置，包括有顶板配制罐，所述配制罐的顶部设有置放箱，所述置放箱的内部设有搅拌组件，所述搅拌组件包括有长杆，所述长杆的一端贯穿延伸至配制罐的内部，所述长杆的顶部外壁呈螺纹设置，所述长杆的顶部外壁与配制罐的内壁呈螺纹连接，所述长杆的两侧外壁均固定连接有多个搅拌杆，本实用新型通过搅拌组件的设置，对配制罐内的液体进行充分的搅拌混合，具体是第二电机，第二电机带动转块转动，转块带动限位块转动，限位块带动弧形槽在滑轨内滑动，弧形槽带动长杆移动，长杆因为跟配制罐螺纹连接，长杆在向下的同时进行转动，稳定提高配制的效率，确保产品质量，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及正胶显影液制备技术领域，特别是涉及一种正胶显影液自动配制装置。

背景技术

TMAH，即四甲基氢氧化铵可以作为光刻制程中的正胶显影液，其配置方法使将四甲基氢氧化铵储罐内的四甲基氢氧化铵输送至配制罐中，由清水储罐向配制罐通入清水对四甲基氢氧化铵进行稀释至2.4％，在配制罐中按照3:1:1 的比例通入聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾，最终四甲基氢氧化铵的浓度为2.38％，其中通入的聚乙二醇为表面活性剂，可以使得正胶显影液成品的表面张力由传统的75～76mN/m降低至48～52mN/m，通入的氢氧化钾为添加剂，使得正胶显影液成品在空气中先由氢氧化钾于二氧化碳发生反应，从而避免四甲基氢氧化铵与二氧化碳接触发生反应，避免形成斑点。

现有的正胶显影液的配制目前都是由人工完成，人工配制过程繁琐、劳动强度大、精度低、容易出差错，而且存在危险性大、人力成本高等缺点，并且各组分之间的混合不够均匀，影响产品品质。

因此，现在亟需设计一种能解决上述问题的一种正胶显影液自动配制装置。

实用新型内容

为解决现有技术中存在的一个或者多个问题，本实用新型提供了一种正胶显影液自动配制装置。

本实用新型为达到上述目的所采用的技术方案是：一种正胶显影液自动配制装置，包括有顶板配制罐，所述配制罐的顶部设有置放箱，所述置放箱的内部设有搅拌组件，所述搅拌组件包括有长杆，所述长杆的一端贯穿延伸至配制罐的内部，所述长杆的顶部外壁呈螺纹设置，所述长杆的顶部外壁与配制罐的内壁呈螺纹连接，所述长杆的两侧外壁均固定连接有多个搅拌杆，所述配制罐的底部设有底座，所述底座的内部设有清理组件。

优选的，所述置放箱的内部设有第二电机，所述第二电机的输出端通过转轴固定连接有转块，所述转块的前侧一端固定连接有限位块，所述置放箱的内部两端设有滑轨，两个所述滑轨的内壁滑动连接有弧形槽，所述弧形槽的一侧固定连接有固定块，所述固定块与长杆转动连接。

优选的，所述清理组件包括有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴贯穿延伸至配制罐的内部，所述转轴的一侧外壁固定连接有连接杆，所述连接杆的外壁一端固定连接有清理刷。

优选的，所述配制罐的一侧设有四甲基氢氧化铵储罐，所述四甲基氢氧化铵储罐的顶部设有第一水泵，所述第一水泵的两端均密封连接有第一输送管，所述其中一个第一输送管的一端贯穿延伸至四甲基氢氧化铵储罐的内部，所述另一个第一输送管的一端贯穿延伸至配制罐的内部。

优选的，所述配制罐远离四甲基氢氧化铵储罐的一侧设有水洗槽，所述水洗槽的顶部设有两个气泵，所述其中一个气泵的两端均密封连接有第四输送管，所述其中一个第四输送管的一端贯穿延伸至水洗槽的内部，所述另一个第四输送管的一端贯穿延伸至配制罐的内部，所述另一个气泵的两端密封连接有第三输送管，所述其中一个第三输送管的一端贯穿延伸至水洗槽的内部，所述水洗槽的一侧设有氨气罐，所述另一个第三输送管的一端贯穿延伸至氨气罐的内部。

优选的，所述氨气罐的一侧设有氢氧化钾储罐，所述氢氧化钾储罐的顶部设有第二水泵，所述第二水泵的两端密封连接有第五输送管，所述其中一个第五输送管的一端贯穿延伸至氢氧化钾储罐的内部，所述另一个第五输送管的一端贯穿延伸至配制罐的内部。