[实用新型]高温热炉的测温系统及高温热炉

说明书

本实用新型公开了高温热炉的测温系统及高温热炉，该高温热炉的测温系统包括热电偶测温组件和红外测温组件，热电偶测温组件包括热电偶测温件以及第一驱动件，热电偶测温件配合在高温热炉的第一测温孔内，第一驱动件与热电偶测温件相连以驱动热电偶测温件的测量端伸入或者远离高温热炉的元件放置腔，红外测温组件包括红外测温件和挡板，红外测温件对应高温热炉的第二测温孔设置，挡板可活动地设在高温热炉上，该高温热炉的测温系统的测量精度较高，且能够适用于多种炉内气氛环境，兼容性较好。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种高温热炉的测温系统及高温热炉。

背景技术

通过压力烧结可以获得耐高温、耐磨损、耐腐蚀、高强度、抗氧化等性能远超其它材料的陶瓷材料，如氮化硅、碳化硅、氧化锆等。氮化硅陶瓷具有高强度、高硬度、热膨胀系数小、热导率高、良好的抗震性、抗氧化、耐腐蚀等优良性能，具有适中的介电常数和低射频损耗，广泛应用于半导体、机械、石油化工、航空航天等领域。

压力烧结炉的最高工作温度为2200℃左右，通常用钨铼热电偶测温件检测炉温。随着炉温升高，钨铼热电偶测温件检测出的温度数据趋于分散，精度有所降低。

在真空压力烧结炉中，为了降低设备造价、节省功率、增加保温效果、耐高温和减少放气量，加热元件、隔热屏、装载元件的盒体等采用石墨材料制作，少量石墨在炉内升华为气态碳，炉内为含碳气氛。

钨或钨铼在含碳气氛中容易生成稳定的碳化物，造成热电偶测温件的灵敏度降低，并可能引起热电偶测温件的脆断。在有氢气存在的情况下，会加速碳化。因此在含碳气氛的压力烧结炉中不能使用钨铼热电偶测温件检测炉温。

实用新型内容

本实用新型的第一个目的在于提出一种高温热炉的测温系统，该高温热炉的测温系统的测量精度较高，且能够适用于多种炉内气氛环境，兼容性较好。

本实用新型的第二个目的在于提出一种高温热炉，该高温热炉热炉的测温精度较高，使用可靠性较好。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型公开了一种高温热炉的测温系统，包括：热电偶测温组件，所述热电偶测温组件包括热电偶测温件以及第一驱动件，所述热电偶测温件配合在高温热炉的第一测温孔内，所述第一驱动件与所述热电偶测温件相连以驱动所述热电偶测温件的测量端伸入或者远离所述高温热炉的元件放置腔；红外测温组件，所述红外测温组件包括红外测温件和挡板，所述红外测温件对应所述高温热炉的第二测温孔设置，所述挡板可活动地设在所述高温热炉上，所述挡板能够运动到遮盖所述第二测温孔的位置。

在一些实施例中，所述热电偶测温组件还包括：第一支架，所述第一支架安装在所述高温热炉的炉体上，且所述第一支架用于支撑所述第一驱动件；安装座，所述安装座连接在所述第一驱动件的动力输出端上，且套设在所述热电偶测温件上。

在一些实施例中，所述热电偶测温组件还包括第一冷却座，所述第一冷却座穿设在所述第一测温孔内，所述第一冷却座具有与所述热电偶测温件配合的配合孔以及环绕所述配合孔设置的第一冷却通道，所述第一冷却座上连接有与所述第一冷却通道连接的第一冷却接头和第二冷却接头。

在一些具体的实施例中，所述配合孔包括直径依次减小的螺纹段、密封段和光孔段，所述热电偶测温组件还包括调节螺母，所述调节螺母螺纹连接在所述螺纹段内，且套设在所述热电偶测温件上，所述密封段内设有套设在所述热电偶测温件上的密封组件，所述调节螺母能够压制所述密封组件使其变形以将所述热电偶测温件与所述第一冷却座密封连接。

在一些具体的实施例中，所述密封组件包括：压环，所述压环为两个，其中一个压环止抵在所述调节螺母上，另一个压环止抵在所述密封段朝向所述光孔段的端面上；密封圈，所述密封圈为多个，多个所述密封圈间隔设在两个所述压环之间；密封压套，所述密封压套为多个，每个所述密封压套夹设在两个所述密封圈之间。