[实用新型]低氧超高纯砷棒成型装置

权利要求书

1.低氧超高纯砷棒成型装置，其特征在于：包括支架、安装在支架上的砷棒成型炉胆；所述砷棒成型炉胆包括炉体，炉体的内部形成炉腔；所述炉腔内安装有成型模具固定座，成型模具固定座上设置有安装槽，用于安装砷棒成型模具；所述炉体的外侧还设置有气体管路组件，气体管路组件与炉腔连通，用于对炉腔中的气体进行控制；所述支架还安装有平转机构，平转机构与砷棒成型炉胆联接，用于驱动砷棒成型炉胆平转；所述支架还安装有加热机构，加热机构与砷棒成型炉胆配合，用于对砷棒成型炉胆加热。

2.根据权利要求1所述的低氧超高纯砷棒成型装置，其特征在于：所述气体管路组件包括与炉腔连通的气体管路汇流排；所述气体管路汇流排连接有抽真空管路、惰性气体加压管路、尾气排放管路；所述抽真空管路上设置有真空控制阀，所述惰性气体加压管路上设置有加压控制阀门；所述尾气排放管路上设置有排放阀门。

3.根据权利要求2所述的低氧超高纯砷棒成型装置，其特征在于：所述成型装置还包括控制模块；所述真空控制阀、加压控制阀门、排放阀门为可响应于控制模块的控制命令而开关动作的阀门；所述炉体还设置有用于监测炉腔压力的压力传感器；所述控制模块被配置为：响应于抽真空指令，控制真空控制阀打开；响应于平转指令，控制平转机构启动；响应于加压指令，控制真空控制阀关闭，并控制加压控制阀门打开，接收压力传感器监测的炉腔压力数据，在压力值到达第一设定值时，控制加压控制阀门关闭；响应于出炉指令，控制排放阀门打开。

4.根据权利要求3所述的低氧超高纯砷棒成型装置，其特征在于：所述气体管路组件还包括安全保护管路，所述安全保护管路上还设置有安全阀；所述安全阀为可响应于控制模块的控制命令而开关动作的阀门；所述控制模块还被配置为：接收压力传感器监测的炉腔压力数据，在压力值到达第二设定值时，控制安全阀打开。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的低氧超高纯砷棒成型装置，其特征在于：所述炉体顶部开口，并在开口处安装有炉盖；炉盖与炉体通过连接件连接；炉盖与炉体之间还设置有密封件；所述炉体的侧壁在靠近顶部开口的区域还设置有冷却机构。

6.根据权利要求3所述的低氧超高纯砷棒成型装置，其特征在于：所述加热机构包括加热部，加热部内形成上下开口的加热通道；所述加热通道与砷棒成型炉胆配合，用于对砷棒成型炉胆加热。

7.根据权利要求6所述的低氧超高纯砷棒成型装置，其特征在于：所述加热机构还包括安装于加热部的温度传感器，温度传感器的工作端靠近加热通道；所述控制模块还被配置为：接收温度传感器监测的温度数据，按照设定的温度参数控制加热部加热。

8.根据权利要求6或7所述的低氧超高纯砷棒成型装置，其特征在于：所述成型装置还包括安装于支架的升降机构；所述加热机构与升降机构的升降移动端固定。

9.根据权利要求8所述的低氧超高纯砷棒成型装置，其特征在于：所述升降机构包括安装于支架的丝杆组件、用于驱动丝杆的升降驱动元件、与丝杆螺母固定的安装架，该安装架作为升降机构的升降移动端与加热机构固定。

10.根据权利要求1所述的低氧超高纯砷棒成型装置，其特征在于：所述成型模具固定座包括固定座体；所述固定座体的顶侧开有多个孔，孔用于作为安装槽，放置砷棒成型模具。