[实用新型]一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备有效
申请号: | 202222230281.2 | 申请日: | 2022-08-24 |
公开(公告)号: | CN218097183U | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
发明(设计)人: | 陈箫箫 | 申请(专利权)人: | 亚芯半导体材料(江苏)有限公司;亚芯电子科技(常州)有限公司 |
主分类号: | F27B14/00 | 分类号: | F27B14/00;F27D17/00;C23C14/34 |
代理公司: | 常州市权航专利代理有限公司 32280 | 代理人: | 金啸 |
地址: | 213000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 合金 溅射 制备 金属 熔炼 设备 | ||
本实用新型公开了一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备,涉及金属熔炼技术领域。本实用新型包括熔炼炉、烟尘罩、第一连接管、第二连接管、旋风除尘器,第一连接管上固定有热交换管,热交换管远离第一连接管的一端与第二连接管固定连接,热交换管内部设置有呈螺旋状的空心金属管,空心金属管两端均固定有与空心金属管内腔连通的空心直管,两空心直管分别贯穿第一连接管、第二连接管。本实用新型通过在两连接管之间设置热交换管,并在热交换管内部设置能够对热量进行吸附的空心金属管,将废气烟尘中的热量用于对鼓入的空气加热,提高对金属的熔炼速度,能够再次对烟尘废气中的热量利用,进而降低了对能源的消耗。
技术领域
本实用新型属于金属熔炼技术领域,特别是涉及一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备。
背景技术
熔炼是将金属材料及其它辅助材料投入加热炉溶化并调质,炉料在高温1300-1600K炉内物料发生一定的物理、化学变化,产出粗金属或金属富集物和炉渣的火法冶金过程。炉料除精矿、焙砂、烧结矿等外,有时还需添加为使炉料易于熔融的熔剂,以及为进行某种反应而加入还原剂。用于合金溅射靶材制备的金属在熔炼过程中与其它金属熔炼设备相同。现有的金属熔炼设备由熔炼炉、烟尘罩、旋风除尘器、集粉箱、管道、脉冲布袋除尘器、集尘箱、引风机、排气管等组成。金属在熔炼过程中产生具有高温的废气烟尘,这些废气烟尘直接排入到大器中不仅污染环境,而且会浪费废气粉尘中蕴含的热量,造成一部分能源的丢失,且废气烟尘除了会污染环境外其中还含有有用的物质,直接排放不仅不环保,而且对资源存在较大的浪费。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备,通过在两连接管之间设置热交换管,并在热交换管内部设置能够对热量进行吸附的空心金属管,将废气烟尘中的热量用于对鼓入的空气加热,并通过开设的清灰槽对烟尘中的有用物质回收,解决了现有的金属熔炼设备对排出的废气烟尘中热量和有用物质浪费较大,资源与能源利用不充分的问题。
为解决上述技术问题,本实用新型是通过以下技术方案实现的:
本实用新型为一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备,包括熔炼炉、烟尘罩、第一连接管、第二连接管、旋风除尘器,所述熔炼炉内产生的粉尘依次经过烟尘罩、第一连接管、第二连接管和旋风除尘器,所述第一连接管底部与烟尘罩连通,所述第二连接管与旋风除尘器连通,所述第一连接管上固定有热交换管,所述热交换管远离第一连接管的一端与第二连接管固定连接,所述热交换管内部设置有呈螺旋状的空心金属管,所述空心金属管两端均固定有与空心金属管内腔连通的空心直管,两所述空心直管分别贯穿第一连接管、第二连接管;
其中一贯穿第一连接管的所述空心直管端固定有导气管,所述导气管底端贯与熔炼炉内腔连通。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述熔炼炉上固定有与导气管配合的输入管,所述熔炼炉顶部排气端通过法兰与烟尘罩固定连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述烟尘罩和第一连接管之间、热交换管和第二连接管之间、第二连接管和旋风除尘器之间均通过法兰连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述第一连接管和第二连接管结构相同,所述第二连接管包括锥形导风罩,所述锥形导风罩通过法兰与热交换管固定连接,所述锥形导风罩上贯穿有横向导管,所述横向导管被空心直管贯穿且与空心直管同轴线,所述横向导管外圆面上固定有与横向导管连通的弧形导管,所述弧形导管底部与旋风除尘器固定连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述热交换管外圆面上沿轴向开设有清灰槽,所述热交换管外圆面滑动连接有与清灰槽口配合的弧形挡板,所述弧形挡板外弧面上固定有拉块。
本实用新型具有以下有益效果:
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