[实用新型]一种长工作距大像面显微物镜

说明书

本实用新型公开了一种长工作距大像面显微物镜，沿光轴方向从物面到像面依次包括：具有正光焦度的第一透镜、负光焦度的第二透镜、正光焦度的第三透镜、负光焦度的第四透镜和正光焦度的第五透镜，所述第四透镜和第五透镜组成胶合透镜，所述第一透镜为双凸透镜，所述第二透镜为双凹透镜，所述第三透镜为双凸透镜，所述第四透镜为双凹透镜，所述第五透镜为双凸透镜。本实用新型的显微物镜在全视场范围内，最大畸变不超过1％，垂轴色差不超过5微米，平场消色差效果好；在截止频率40线对每毫米处的调制传递函数值均优于0.3，各个视场的像点弥散斑半径均方根值均优于5微米，成像性能优良；具有工作距离长，成像范围大，适用范围广和检测效率高等优势。

技术领域

本实用新型涉及光学成像领域，特别涉及一种长工作距大像面显微物镜。

背景技术

在生命科学、生物医学成像与半导体工业检测等领域，显微物镜的应用非常广泛，用于观察或检测被测样品的细节与形貌。中国专利CN108957718公开了一种宽光谱平场显微物镜，其工作距离仅有0.21mm。中国专利CN113960777公开了一种大视场长工作距显微物镜，视场为0.7mm，工作距离最大为3.5mm。现有大部分显微物镜的工作距离较小，主要对传统载玻片样品进行成像。随着应用领域的扩展与被测样品的丰富，尤其对半导体芯片产品缺陷的检测，短工作距离的显微物镜具有一定的局限性。此外，显微物镜含有大像面可以提高检测效率，因而长工作距大像面显微物镜具有重要作用。

实用新型内容

实用新型目的：针对以上问题，本实用新型目的是提供一种长工作距大像面显微物镜，其能够保证物镜具有工作距离长、成像范围大、适用范围广和检测效率高的特点。

技术方案：本实用新型的一种长工作距大像面显微物镜，沿光轴方向从物面到像面依次包括：具有正光焦度的第一透镜、负光焦度的第二透镜、正光焦度的第三透镜、负光焦度的第四透镜和正光焦度的第五透镜，所述第四透镜和第五透镜组成胶合透镜，所述第一透镜为双凸透镜，所述第二透镜为双凹透镜，所述第三透镜为双凸透镜，所述第四透镜为双凹透镜，所述第五透镜为双凸透镜。

进一步，第一透镜至第五透镜中的任一透镜的表面均为球面，第一透镜与第二透镜间隔为空气，第二透镜与第三透镜间隔为空气，第三透镜与第四透镜间隔为空气。

进一步，第一透镜物侧面与第五透镜像侧面在光轴上的距离范围为45mm至55mm，物面到第一透镜物侧面在光轴上的距离范围为15mm至25mm。

进一步，该显微物镜工作波段为可见光波段，有效焦距为90mm，物面尺寸为12mm，像面尺寸为24mm。

进一步，第一透镜至第五透镜中的任一透镜的材质为玻璃。

有益效果：本实用新型与现有技术相比，其优点是：本实用新型提供了一种长工作距大像面显微物镜，仅仅包含五片球面透镜，便于加工和检测；在全视场范围内，最大畸变不超过1％，垂轴色差不超过5微米，平场消色差效果好；在截止频率40线对每毫米处的调制传递函数值均优于0.3，各个视场的像点弥散斑半径均方根值均优于5微米，成像性能优良；本实用新型的显微物镜具有工作距离长，成像范围大，适用范围广和检测效率高等优势。

附图说明

图1是本实用新型的一种长工作距大像面显微物镜的结构示意图；

图2是实施例中长工作距大像面显微物镜的畸变图；

图3是实施例中长工作距大像面显微物镜的垂轴色差图；

图4是实施例中长工作距大像面显微物镜的调制传递函数曲线图；

图5是实施例中长工作距大像面显微物镜的点列图。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。