[实用新型]一种晶圆载具的生产模具

权利要求书

1.一种晶圆载具的生产模具，包括下模座(1)，其特征在于，所述下模座(1)顶部四角均固定有导向杆(3)，所述导向杆(3)顶部处固定有顶板(2)，所述导向杆(3)上套设安装有上模座(4)，所述下模座(1)顶部处开设有注塑腔，注塑腔内部设置有下模具(6)，所述上模座(4)底部安装有上模具(41)，所述下模具(6)顶部处安装有固定板(7)，所述上模座(4)底部和所述下模具(6)顶部处均开设有卡接腔，卡接腔内设置有定位组件(11)，所述固定板(7)底部以及所述上模具(41)顶部均突出设置有卡接块(16)，所述卡接块(16)与所述定位组件(11)配合卡接；

所述定位组件(11)包括横向转动安装在卡接腔下方的转动杆(14)，所述转动杆(14)的中段处套设安装有蜗轮(12)，所述蜗轮(12)上对称套设安装有J型的定位块(15)，所述卡接腔内横向转动安装有蜗杆(13)，所述蜗杆(13)与蜗轮(12)之间配合传动，所述卡接块(16)的两端开设有供定位块(15)卡接的卡紧槽(161)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆载具的生产模具，其特征在于，所述转动杆(14)上对称开设有两个螺旋方向相反的螺纹，所述转动杆(14)与定位块(15)之间螺纹配合。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆载具的生产模具，其特征在于，所述下模座(1)内部开设有滑动腔，滑动腔垂直固定有固定杆(101)，所述固定杆(101)上套设滑动设置有承接板(8)，所述固定杆(101)上套设安装有辅助承接板(8)压覆的顶出弹簧(102)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆载具的生产模具，其特征在于，所述固定杆(101)顶部穿过滑动腔固定在所述固定板(7)底部处。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆载具的生产模具，其特征在于，所述滑动腔的中段处固定有滑杆，滑杆内转动设置有转杆(9)，所述承接板(8)上开设有滑腔，滑腔内固定有滑块(81)，所述滑块(81)套设安装在所述转杆(9)上。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆载具的生产模具，其特征在于，所述滑块(81)与转杆(9)之间螺纹配合，所述下模座(1)内部安装有带动转杆(9)转动的伺服电机(10)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆载具的生产模具，其特征在于，所述下模座(1)底部外缘以及所述顶板(2)外缘处均固定有安装板(5)，所述安装板(5)上开设有供安装的安装孔。