[实用新型]一种石英舟自动装载晶圆片装置

说明书

本实用新型公开了一种石英舟自动装载晶圆片装置，包括底座，所述底座上设有安装板，所述安装板上设有升降机构，所述升降机构包括凸轮，所述凸轮上设有第一旋转轴，所述安装板上设有第一支架与第二支架，所述第一支架内穿过有圆杆，所述圆杆顶部设有圆盘，所述圆盘上设有第二旋转轴，所述圆盘上设有卡块，所述卡块上设有L型机械臂，所述L型机械臂穿过第二支架，所述L型机械臂端部设有安装槽，所述安装槽内设有多个夹紧机构；本实用新型结构简单，设计新颖，可完成晶圆片的自动装载，提高了工作效率与生产效率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆片自动装载技术领域，具体为一种石英舟自动装载晶圆片装置。

背景技术

晶圆片在炉管内进行表面热加工时通过石英舟来装载，需要将晶圆片从包装盒中转移到石英舟内，手工装载晶圆片不仅生产效率低下，还很容易对晶圆片表面造成破损，从而影响产品性能。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种石英舟自动装载晶圆片装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种石英舟自动装载晶圆片装置，包括底座，所述底座上设有安装板，所述安装板上设有升降机构，所述升降机构包括凸轮，所述凸轮上设有第一旋转轴，所述第一旋转轴穿过安装板连接于第一旋转电机，所述安装板上设有第一支架与第二支架，所述第一支架内穿过有圆杆，所述圆杆底部位于凸轮上方，与凸轮侧面接触，所述圆杆顶部设有圆盘，所述圆盘上设有第二旋转轴，所述第二旋转轴连接于第二旋转电机，所述圆盘上设有卡块，所述卡块上设有L型机械臂，所述L型机械臂穿过第二支架，所述L型机械臂端部设有安装槽，所述安装槽内设有多个夹紧机构。

优选的，所述夹紧机构包括壳体，所述壳体内设有两个相对应的夹块，所述夹块的端部伸出壳体外，所述壳体外设有气缸，所述气缸上的伸缩杆穿过壳体连接至连接块，所述连接块两端分别连接有连杆，每个所述连杆的端部均设有扇形齿轮，每个所述扇形齿轮分别与一个夹块上的齿条啮合。

优选的，所述气缸由信号线连接至控制器，所述控制器由USB接线连接于触控屏。

优选的，所述安装板于圆盘所在位置处开有长腰孔，所述第二旋转轴穿过长腰孔。

优选的，所述卡块的截面为圆角三角形。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，利用合理的机械结构，巧妙发挥各要素内在潜力，利用升降机构与水平移动的机械臂，配合夹紧机构可完成晶圆片的自动装载，夹紧机构一次可同时夹取多个晶圆片，将晶圆片整齐放置于石英舟中，提高了工作效率与生产效率。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型中升降机构示意图；

图3为本实用新型中安装板侧视图；

图4为本实用新型中安装板示意图；

图5为本实用新型中夹紧机构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。