[实用新型]一种一体化石英导流筒有效
申请号: | 202222275931.5 | 申请日: | 2022-08-29 |
公开(公告)号: | CN217948328U | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
发明(设计)人: | 高峰;高子富;高子豪 | 申请(专利权)人: | 安徽高昌硅碳科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 上海洞鉴知识产权代理事务所(普通合伙) 31346 | 代理人: | 刘少伟 |
地址: | 237000 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 一体化 石英 导流 | ||
本实用新型公开了一种一体化石英导流筒,属于导流筒技术领域,一种一体化石英导流筒,包括导流筒本体和存放箱,导流筒本体包括有石英内导和石英盖板,石英内导和石英盖板是一体成型结构,石英内导分别设置有上导段、中导段和下导段;本方案一体化技术完美的将石英盖板与石英内导实现了一次成型,解决了由于分体产品空隙而造成的二次污染问题,通过降低了污染源进而大大的净化了拉晶环境,避免污染影响硅棒和硅片的生产品质,极大提高了单晶硅棒的品质。一体化生产石英导流筒的生产时间更短,极大的节省了工厂以及用户的时间成本;同时一体化生产石英导流筒更易实现批量采购,同时通过装卸一体的石英导流筒产品,还可极大提高了工作效率。
技术领域
本实用新型涉及导流筒技术领域,更具体地说,涉及一种一体化石英导流筒。
背景技术
硅是最常见应用最广的半导体材料,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成晶核,其晶核长成晶面取向相同的晶粒,形成单晶硅。单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体,是晶体材料的重要组成部分。石英导流筒是光伏产业设计的单晶硅提炼需要用到的主要配套产品,导流筒作为单晶炉中重要的组成部分,对晶体的生长有很大的影响,其在单晶炉中的主要作用是控制氩气的流向来降低晶棒的温度,形成有利于单晶生长的温度梯度,同时主要用于拉制单晶硅棒时起到净化隔热的作用。
现有的导流筒产品是呈分体的态势,主要将石英盖板与石英内导衔接在一起,在石英盖板与石英内导的衔接处,始终存在缝隙。即便在初期时产品的缝隙很小,但也会随着产品的使用,所处的环境而变大。在单晶硅棒的拉制过程中,外部环境或用于隔热的其他保温材料(如:碳毡),会随着温度挥发,微米级别的杂质会随着缝隙并伴随着拉制过程中氩气的流动,最终附着在硅液的表面甚至进入硅液中,造成污染影响最终硅棒和硅片的品质。并且现有分体的产品还需要分批采购,增加了客户的时间成本,以及需要分别装卸,对工作效率造成了浪费。
因此,有必要提供一种一体化石英导流筒解决上述技术问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种一体化石英导流筒以解决上述技术问题。
为实现上述目的,本实用新型采用如下的技术方案:
一种一体化石英导流筒,包括导流筒本体,所述导流筒本体包括有石英内导和石英盖板,所述石英内导和石英盖板是一体成型结构,所述石英内导分别设置有上导段、中导段和下导段,所述中导段和位于上导段和下导段之间,所述上导段、中导段和下导段内部均相互贯通,所述石英盖板的内圈和上导段上端面平滑对接,所述石英盖板的外圈朝着远离石英内导的方向延伸,所述石英盖板的外径大于上导段的外径。
进一步的,还包括有用于安置导流筒本体的存放箱,所述存放箱内部设有存放腔和传动腔,所述存放腔底部固定连接有多个放置筒和多个中间柱,所述导流筒本体可放置于放置筒内,所述中间柱位于放置筒的中部,每个所述中间柱外壁均安装有三个保护气囊,所述传动腔上壁安装有储存气囊,所述传动腔内设有用于挤压储存气囊的驱动机构。
进一步的,所述驱动机构包括有转动连接于传动腔左右壁的转轴,所述转轴外壁固定连接有两个第一锥齿轮,所述传动腔的上壁转动连接有转杆,所述转杆下端固定安装有与第一锥齿轮相啮合的第二锥齿轮,所述转杆外壁设有螺纹并螺纹连接有挤压板,所述挤压板位于储存气囊下方。
进一步的,所述中间柱内部开设有导气腔,所述中间柱外壁开设有多个第三气孔,所述第三气孔的两端分别连通导气腔和保护气囊,所述中间柱底部开设有第二气孔,所述传动腔上壁开设有连通第三气孔和储存气囊的第一气孔。
进一步的,所述放置筒上壁安装有下缓冲垫,所述存放箱上壁铰接有存放箱盖板,所述存放箱盖板上螺接有多个螺杆,每个所述螺杆的下端均转动连接有下压板,所述下压板远离螺杆的一端安装有上缓冲垫。
相比于现有技术,本实用新型的优点在于:
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