[实用新型]一种环形阵列超声波换能器有效
申请号: | 202222280870.1 | 申请日: | 2022-08-29 |
公开(公告)号: | CN218691247U | 公开(公告)日: | 2023-03-24 |
发明(设计)人: | 柯晴青;张志清 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | B06B1/06 | 分类号: | B06B1/06 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 吴松滨 |
地址: | 510275 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 环形 阵列 超声波 换能器 | ||
1.一种环形阵列超声波换能器,其特征在于,包括压电层、设于所述压电层一侧的匹配层、以及设于所述压电层另一侧的背衬层,所述压电层、匹配层及背衬层同轴设置;所述压电层包括压电材料层、以及设于所述压电材料层上的环形电极层;其中,所述压电材料层设于所述匹配层相对的压电层一面,所述环形电极层设于所述背衬层相对的压电层的另一面。
2.根据权利要求1所述的环形阵列超声波换能器,其特征在于,所述环形电极层包括圆形电极、以及与所述圆形电极为中心向外等间隔排列的若干环形电极;其中,所述环形电极为等宽环形电极。
3.根据权利要求2所述的环形阵列超声波换能器,其特征在于,所述圆形电极的半径为0.7mm,所述环形电极中等宽环形电极的数量为4个,4个所述等宽环形电极的外环半径依次为1.3mm、1.8mm、2.3mm、2.8mm,其中,各等宽环形电极间的间距为200um。
4.根据权利要求3所述的环形阵列超声波换能器,其特征在于,所述圆形电极及各环形电极上均设有一电极引线,且各电极引线之间等间隔分布。
5.根据权利要求4所述的环形阵列超声波换能器,其特征在于,所述压电材料层包括多个陶瓷柱体与填充于多个所述陶瓷柱体之间的环氧树脂;其中,所述陶瓷柱体采用KNNS压电陶瓷片切割而成。
6.根据权利要求5所述的环形阵列超声波换能器,其特征在于,所述陶瓷柱体的完整尺寸均为80um*80um*100um,每个陶瓷柱体为一个压电阵元,阵元间距为50um。
7.根据权利要求1所述的环形阵列超声波换能器,其特征在于,所述压电层与所述背衬层之间还设置有导线,所述导线通过金属银胶连接在所述环形电极层上。
8.根据权利要求7所述的环形阵列超声波换能器,其特征在于,所述背衬层上设置有通孔,所述导线穿过所述背衬层上的所述通孔延伸到外部。
9.根据权利要求1所述的环形阵列超声波换能器,其特征在于,所述环形电极层的厚度为80um。
10.根据权利要求7所述的环形阵列超声波换能器,其特征在于,所述背衬层由导电材料E-solder3022制成,所述匹配层由绝缘材料制成;其中,所述绝缘材料包括环氧树脂。
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