[实用新型]玻璃基板传输稳定性检测装置及传输线

权利要求书

1.一种玻璃基板传输稳定性检测装置，其特征在于，包括：

支架(1)，所述支架(1)上设有线性光源(2)、凸透镜(3)和检测部(4)，所述凸透镜(3)与所述检测部(4)采集端正对，所述检测部(4)朝向所述凸透镜(3)的方向与所述线性光源(2)发射检测光线的方向夹角大于0°且小于180°；

其中，所述线性光源(2)的部分所述检测光线能够发射到样品(5)上，所述检测部(4)能够接收穿过所述凸透镜(3)的反射光线，所述检测部(4)基于接收的所述反射光线投影的面积计算得到所述样品(5)的抖动距离，基于接收的所述反射光线投影的位移计算得到所述样品(5)偏移距离。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板传输稳定性检测装置，其特征在于，所述检测光线的投影面积的至少1/2能够发射到所述样品(5)。

3.根据权利要求1所述的玻璃基板传输稳定性检测装置，其特征在于，所述检测光线的投影为矩形，且矩形投影的任一边长大于1mm。

4.根据权利要求1所述的玻璃基板传输稳定性检测装置，其特征在于，

所述检测部(4)朝向所述凸透镜(3)的方向与所述线性光源(2)发射所述检测光线的方向夹角为60°-120°。

5.根据权利要求1所述的玻璃基板传输稳定性检测装置，其特征在于，

所述检测部(4)包括：成像器(41)和处理器(42)，所述成像器(41)与所述处理器(42)连接，所述成像器(41)的采集端与所述凸透镜(3)正对，所述成像器(41)朝向所述凸透镜(3)的方向与所述线性光源(2)发射所述检测光线的方向夹角大于0°且小于180°。

6.根据权利要求1所述的玻璃基板传输稳定性检测装置，其特征在于，还包括：

控制器，所述控制器与所述检测部(4)连接，所述控制器设有报警模块；

其中，所述检测部(4)预存有抖动阈值和偏移阈值，所述检测部(4)将所述抖动距离与所述抖动阈值对比，和/或，将所述偏移距离与所述偏移阈值对比，若超出阈值则向所述控制器发出警报信号。

7.根据权利要求1所述的玻璃基板传输稳定性检测装置，其特征在于，

所述支架(1)包括：支柱(17)和承载板(16)，所述支柱(17)的顶端与所述承载板(16)第一端面连接，所述承载板(16)第二端面与所述第一端面相背，所述第二端面上设置所述线性光源(2)、所述凸透镜(3)和所述检测部(4)。

8.根据权利要求7所述的玻璃基板传输稳定性检测装置，其特征在于，

所述支柱(17)包括：伸缩套管、底座和驱动部，所述伸缩套管的顶部与所述承载板(16)连接，所述伸缩套管的底部与所述底座连接，所述底座设置所述驱动部，所述驱动部与所述伸缩套管连接，所述驱动部用于驱动所述伸缩套管沿竖直方向往复运动，带动所述承载板(16)运动。

9.根据权利要求7所述的玻璃基板传输稳定性检测装置，其特征在于，

所述支柱(17)与所述承载板(16)转动连接，所述承载板(16)的转动轴线与所述支柱(17)长度方向垂直，所述支柱(17)与所述承载板(16)之间还设置有锁紧机构，用于限制所述承载板(16)转动。

10.一种传输线，其特征在于，包括：

如权利要求1-9中任意一项所述的玻璃基板传输稳定性检测装置。