[实用新型]一种半导体芯片快速检测机构

说明书

本实用新型涉及一种半导体芯片快速检测机构，包括：检测平台、置物组件、移动检测相机和固定检测相机。置物组件包括X运动板和Y运动板，X运动板滑动设置在检测平台上，且X运动板能够沿X方向运动；Y运动板用于放置待检测芯片，Y运动板滑动设置在X运动板上，且Y运动板能够沿Y方向运动。Y运动板相对的两侧分别设置有移动检测相机和固定检测相机，移动检测相机和固定检测相机的镜头均朝向Y运动板；移动检测相机滑动设置在检测平台上，且移动检测相机能够沿Y方向运动；固定检测相机固定设置在检测平台上，移动检测相机和固定检测相机能够同时对Y运动板上的芯片进行检测。

技术领域

本实用新型涉及检测领域，尤其涉及一种半导体芯片快速检测机构。

背景技术

芯片的生产加工过程中，检测芯片的端面和侧面是否存在瑕疵这一步骤必不可少，但是在检测芯片相对两侧的侧面时，现有的检测机构一般是先检测单侧面，然后再检测另一个单侧面，这就使得芯片在检测机构中需要至少来回运动两次才能完成相对的两个侧面的检测，这就使得检测效率低。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型提供了一种半导体芯片快速检测机构，旨在解决现有技术中芯片检测效率低的问题。

(二)技术方案

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种半导体芯片快速检测机构，所述半导体芯片快速检测机构包括：检测平台、置物组件、移动检测相机和固定检测相机；

所述置物组件包括X运动板和Y运动板，所述X运动板滑动设置在所述检测平台上，且所述X运动板能够沿X方向运动；所述Y运动板用于放置待检测芯片，所述Y运动板滑动设置在所述X运动板上，且所述Y运动板能够沿Y方向运动；

所述Y运动板相对的两侧分别设置有所述移动检测相机和所述固定检测相机，所述移动检测相机和所述固定检测相机的镜头均朝向所述Y 运动板；所述移动检测相机滑动设置在所述检测平台上，且所述移动检测相机能够沿Y方向运动；所述固定检测相机固定设置在所述检测平台上，所述移动检测相机和所述固定检测相机能够同时对所述Y运动板上的芯片进行检测。

优选地，所述X运动板上设置有驱动机构，所述驱动机构能够驱动所述Y运动板沿Y方向往复运动。

优选地，所述Y运动板上转动设置有工装块，所述Y运动板上固定设置有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴能够驱动所述工装块转动，所述工装块上设置有用于放置待检测芯片的工位。

优选地，所述工位内设置有负压孔，所述工装块通过所述负压孔能够吸附待检测芯片。

优选地，所述检测平台上沿X方向设置有凹槽，所述凹槽内沿X方向设置有X导轨，所述Y运动板滑动设置在所述X导轨上。

优选地，所述检测平台上沿Y方向设置有Y导轨，所述Y导轨位于所述凹槽之外，所述Y运动平台滑动设置在所述Y导轨上，所述移动检测相机固定设置在所述Y运动平台上。

优选地，所述检测平台上设置有第二伺服电机和驱动丝杆，所述驱动丝杆转动设置在检测平台上，所述第二伺服电机的输出轴与所述驱动丝杆的一端固定连接，且所述Y运动平台上设置有与所述驱动丝杆配合的内螺纹孔，所述第二伺服电机能够通过所述驱动丝杆驱动所述Y运动平台沿Y方向运动。

优选地，所述移动检测相机和所述固定检测相机的镜头的中心线与待检测芯片的侧面垂直。

优选地，所述移动检测相机和所述固定检测相机的镜头的中心线共线。

(三)有益效果