[实用新型]冷却组件和晶体生长设备

说明书

本实用新型公开了一种冷却组件和晶体生长设备，冷却组件用于对晶体进行冷却，冷却组件包括集流件和换热件，集流件具有多组通口组，每组通口组包括第一通口组和第二通口组，集流件限定出分隔的第一集流腔和第二集流腔，多组第一通口组均形成于第一集流腔，每组第一通口组包括多个沿周向间隔设置的第一通口，多组第二通口组均形成于第二集流腔，且沿径向内外间隔设置，每组第二通口组包括多个沿周向间隔设置的第二通口，换热件呈环形设置且形成有多个冷却通道，换热件可选择地与任一通口组连通，每个冷却通道连通通口组的对应第一通口和对应第二通口。根据本实用新型的冷却组件，可以用于对不同直径的晶体进行冷却，具有良好的适配性。

技术领域

本实用新型涉及晶体生长技术领域，尤其是涉及一种冷却组件和晶体生长设备。

背景技术

相关技术中，晶体生长设备中，为适应热场温度梯度的变化和晶体拉速的要求，冷却组件的尺寸设计相对固定；但在实际硅单晶拉制过程中，为适应市场需求经常遇到拉制不同直径的晶体(例如单晶硅棒)，因此晶体生长设备需要整体更换冷却组件，增加了生产成本，且降低了生产效率。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种冷却组件，所述冷却组件可以用于对不同直径的晶体进行冷却，具有良好的适配性。

本实用新型还提出一种具有上述冷却组件的晶体生长设备。

根据本实用新型第一方面实施例的冷却组件，所述冷却组件用于晶体生长设备，且用于对晶体进行冷却，所述冷却组件包括：集流件，所述集流件具有多组通口组，每组所述通口组包括第一通口组和第二通口组，所述集流件限定出分隔的第一集流腔和第二集流腔，多组所述第一通口组均形成于所述第一集流腔，且沿径向内外间隔设置，每组所述第一通口组包括多个沿周向间隔设置的第一通口，多组所述第二通口组均形成于第二集流腔，且沿径向内外间隔设置，每组所述第二通口组包括多个沿周向间隔设置的第二通口；多个换热件，所述换热件呈环形设置且与对应所述通口组可分离配合，所述换热件形成有多个冷却通道，每个所述冷却通道适于与对应所述第一通口和对应所述第二通口分别连通，其中，多个所述换热件可选择地与所述集流件配合，任意两个所述换热件的内径不等。

根据本实用新型实施例的冷却组件，通过集流件具有多组通口组，每组通口组包括形成于第一集流腔的第一通口组和形成于第二集流腔的第二通口组，多组第一通口组沿径向间隔设置，多组第二通口组沿径向间隔设置，每个通口组与对应换热件可分离配合，且多个换热件可选择地与集流件配合，使得不同换热件与集流件配合时，可以使得冷却组件用于对不同直径的晶体进行冷却，具有良好的适配性，有效降低生产成本、提升生产效率。

在一些实施例中，同一所述通口组的所述第一通口组和所述第二通口组位于同一圆柱面上。

在一些实施例中，位于同一圆柱面上的多个所述第一通口和多个所述第二通口沿周向交替设置，相邻所述第一通口和所述第二通口连通同一所述冷却通道。

在一些实施例中，径向外侧的所述通口组的所述第一通口和所述第二通口的数量之和大于径向内侧的所述通口组的所述第一通口和所述第二通口的数量之和。

在一些实施例中，所述冷却通道包括弯折相连的第一通道段和第二通道段，所述第一通道段和所述第二通道段均沿轴向延伸。

在一些实施例中，所述集流件呈环形设置，所述第一集流腔和所述第二集流腔分别呈环形设置，所述第一集流腔的至少部分和所述第二集流腔的至少部分沿所述集流件的轴向依次设置。

在一些实施例中，所述第一集流腔的至少部分位于所述第二集流腔的上侧，所述第一通口形成在所述第一集流腔的底壁上，所述第一通口处设有第一连通管，所述第一连通管穿设于所述第二集流腔且伸出所述第二集流腔，所述第二通口形成在所述第二集流腔的底壁上，所述第二通口处设有第二连通管，所述第二连通管的至少部分伸出所述第二集流腔。