[实用新型]一种电子枪蒸发光学镀膜机有效
申请号: | 202222332898.5 | 申请日: | 2022-09-01 |
公开(公告)号: | CN217948242U | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
发明(设计)人: | 邓额 | 申请(专利权)人: | 深圳市仲晶科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30 |
代理公司: | 深圳市育科知识产权代理有限公司 44509 | 代理人: | 李丽洪 |
地址: | 518107 广东省深圳市光明区新湖*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电子枪 蒸发 光学 镀膜 | ||
1.一种电子枪蒸发光学镀膜机,包括镀膜箱体(1),其特征在于:所述镀膜箱体(1)的上端固定连接有基板放置机构(2),所述镀膜箱体(1)的内下壁中部设置有坩埚(3),所述镀膜箱体(1)的内下壁右部固定连接有电子枪本体(4),且电子枪本体(4)的下端位于坩埚(3)的上侧,所述镀膜箱体(1)的内下壁前部开有穿通的圆孔(5),所述镀膜箱体(1)的前端左部活动安装有密封门(6),所述密封门(6)的前端右部设置有控制键盘(7),所述镀膜箱体(1)的下部之间共同固定连接有底板(8),所述底板(8)的上端固定连接有降温机构(9),且降温机构(9)的上部穿过圆孔(5)并延伸至镀膜箱体(1)内。
2.根据权利要求1所述的一种电子枪蒸发光学镀膜机,其特征在于:所述基板放置机构(2)包括驱动器(21),所述驱动器(21)与镀膜箱体(1)的上端固定连接,所述驱动器(21)的输出端贯穿镀膜箱体(1)的上端中部并固定连接有连接杆(22),所述连接杆(22)的外表面固定连接有三组放置框组件(23)。
3.根据权利要求2所述的一种电子枪蒸发光学镀膜机,其特征在于:所述放置框组件(23)包括固定块(231),所述固定块(231)的上端中部开有穿通的圆洞(232),所述固定块(231)的外表面环形阵列的固定连接有三个镂空放置框(233)。
4.根据权利要求3所述的一种电子枪蒸发光学镀膜机,其特征在于:三组所述放置框组件(23)呈上下交替错开分布,九个所述镂空放置框(233)与镀膜箱体(1)的内壁均不接触。
5.根据权利要求1所述的一种电子枪蒸发光学镀膜机,其特征在于:所述降温机构(9)包括冷风机(91),所述冷风机(91)与底板(8)的上端前部固定连接,所述冷风机(91)的上端固定连接有总输出管(92),所述总输出管(92)的上端穿过圆孔(5)并固定连接有圆形风管(93),所述圆形风管(93)的外表面上部固定连接有六个出风管(94)。
6.根据权利要求5所述的一种电子枪蒸发光学镀膜机,其特征在于:所述圆形风管(93)位于坩埚(3)的外侧,六个所述出风管(94)呈环形阵列分布。
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