[实用新型]一种电子枪蒸发光学镀膜机有效

专利信息
申请号: 202222332898.5 申请日: 2022-09-01
公开(公告)号: CN217948242U 公开(公告)日: 2022-12-02
发明(设计)人: 邓额 申请(专利权)人: 深圳市仲晶科技有限公司
主分类号: C23C14/30 分类号: C23C14/30
代理公司: 深圳市育科知识产权代理有限公司 44509 代理人: 李丽洪
地址: 518107 广东省深圳市光明区新湖*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 电子枪 蒸发 光学 镀膜
【权利要求书】:

1.一种电子枪蒸发光学镀膜机,包括镀膜箱体(1),其特征在于:所述镀膜箱体(1)的上端固定连接有基板放置机构(2),所述镀膜箱体(1)的内下壁中部设置有坩埚(3),所述镀膜箱体(1)的内下壁右部固定连接有电子枪本体(4),且电子枪本体(4)的下端位于坩埚(3)的上侧,所述镀膜箱体(1)的内下壁前部开有穿通的圆孔(5),所述镀膜箱体(1)的前端左部活动安装有密封门(6),所述密封门(6)的前端右部设置有控制键盘(7),所述镀膜箱体(1)的下部之间共同固定连接有底板(8),所述底板(8)的上端固定连接有降温机构(9),且降温机构(9)的上部穿过圆孔(5)并延伸至镀膜箱体(1)内。

2.根据权利要求1所述的一种电子枪蒸发光学镀膜机,其特征在于:所述基板放置机构(2)包括驱动器(21),所述驱动器(21)与镀膜箱体(1)的上端固定连接,所述驱动器(21)的输出端贯穿镀膜箱体(1)的上端中部并固定连接有连接杆(22),所述连接杆(22)的外表面固定连接有三组放置框组件(23)。

3.根据权利要求2所述的一种电子枪蒸发光学镀膜机,其特征在于:所述放置框组件(23)包括固定块(231),所述固定块(231)的上端中部开有穿通的圆洞(232),所述固定块(231)的外表面环形阵列的固定连接有三个镂空放置框(233)。

4.根据权利要求3所述的一种电子枪蒸发光学镀膜机,其特征在于:三组所述放置框组件(23)呈上下交替错开分布,九个所述镂空放置框(233)与镀膜箱体(1)的内壁均不接触。

5.根据权利要求1所述的一种电子枪蒸发光学镀膜机,其特征在于:所述降温机构(9)包括冷风机(91),所述冷风机(91)与底板(8)的上端前部固定连接,所述冷风机(91)的上端固定连接有总输出管(92),所述总输出管(92)的上端穿过圆孔(5)并固定连接有圆形风管(93),所述圆形风管(93)的外表面上部固定连接有六个出风管(94)。

6.根据权利要求5所述的一种电子枪蒸发光学镀膜机,其特征在于:所述圆形风管(93)位于坩埚(3)的外侧,六个所述出风管(94)呈环形阵列分布。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市仲晶科技有限公司,未经深圳市仲晶科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202222332898.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top