[实用新型]一种薄膜体声波谐振器及滤波器

权利要求书

1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：

衬底，所述衬底的一侧设置有一个空腔；

振子，所述振子设置在所述衬底设置有空腔的一侧，所述振子在所述衬底上的投影覆盖所述空腔在所述衬底上的投影，所述振子贯穿开设若干个连接所述空腔的通孔；

所述振子包括第一电极、压电层以及第二电极，所述压电层设于所述第一电极与所述第二电极之间，所述第一电极邻近所述衬底设置，所述第二电极远离所述衬底设置；

所述通孔为椭圆孔，所述椭圆孔沿平行于所述衬底平面方向的横截面为椭圆形，所述椭圆孔的延伸方向垂直于所述衬底所在的平面；

反射结构，所述反射结构位于所述第二电极远离所述衬底的一侧。

2.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于：

所述椭圆孔的数量为M,M为正整数；

当M＝1时，所述椭圆孔在所述第二电极上的投影位于所述第二电极的几何中心；

当M1时，M个所述椭圆孔在所述第二电极上的投影不对称分布，其中一个椭圆孔在所述第二电极上的投影位于所述第二电极的几何中心，其余椭圆孔在所述第二电极上的投影位于所述第二电极的顶角附近，且互成不对称分布；

所述其余椭圆孔在所述第二电极上的投影为椭圆，所述椭圆的长轴与所述第二电极的边缘不平行。

3.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述多个椭圆孔的大小可以相等、不等或者部分相等。

4.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述反射结构包括两道厚度不同的框架结构，所述两道厚度不同的框架结构的材质相同且间隔设置。

5.根据权利要求4所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述两道厚度不同的框架结构包括第一框架结构和第二框架结构，所述第一框架结构与所述第二电极几何中心的距离大于所述第二框架结构与所述第二电极几何中心的距离，所述第一框架结构的厚度大于所述第二框架结构的厚度。

6.一种滤波器，其特征在于，包括权利要求1-5中任一项所述的薄膜体声波谐振器。