[实用新型]一种集成电路芯片静电消除组件有效
申请号: | 202222343190.X | 申请日: | 2022-09-01 |
公开(公告)号: | CN218162969U | 公开(公告)日: | 2022-12-27 |
发明(设计)人: | 刘志刚;陈友兵 | 申请(专利权)人: | 池州睿成微电子有限公司 |
主分类号: | H05F3/06 | 分类号: | H05F3/06 |
代理公司: | 合肥左心专利代理事务所(普通合伙) 34152 | 代理人: | 杨兆鹏 |
地址: | 247100 安徽省池州市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成电路 芯片 静电 消除 组件 | ||
1.一种集成电路芯片静电消除组件,包括底板(1)和离子喷射管(4),所述底板(1)上滑动套装有两组辅助离子喷射管(4)夹持固定的支撑架(2),且底板(1)的底部焊接有连接座(9),所述离子喷射管(4)的外部设置有离子风机(5),且离子喷射管(4)的底部套装有均匀分布的喷头(12),其特征在于:所述底板(1)中活动套装有双向螺杆(10),所述双向螺杆(10)与两组支撑架(2)之间螺纹连接,且双向螺杆(10)的一端延伸至底板(1)的外部并固定套装有转盘(11),所述支撑架(2)的内侧固定套装有夹持座(3),所述夹持座(3)中设置有辅助离子喷射管(4)端头处上下两侧固定的上夹持垫(7)和下夹持垫(8)。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片静电消除组件,其特征在于:所述双向螺杆(10)的外部设置有方向相反的两组螺纹,两组所述支撑架(2)的位置分别与两组螺纹相互对应。
3.根据权利要求2所述的一种集成电路芯片静电消除组件,其特征在于:所述支撑架(2)的底部呈T形,并设置有与双向螺杆(10)相匹配的滑套,所述底板(1)上开设有与滑套相匹配的滑槽。
4.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片静电消除组件,其特征在于:所述夹持座(3)的顶部螺纹连接有调节螺栓(6),所述调节螺栓(6)的底端延伸至夹持座(3)的内侧并通过轴承活动套装有活动板(13)。
5.根据权利要求4所述的一种集成电路芯片静电消除组件,其特征在于:所述活动板(13)的顶部固定套装有位于调节螺栓(6)两侧的导向杆(15),且活动板(13)与上夹持垫(7)之间固定连接有均匀分布的弹簧(14),所述导向杆(15)与夹持座(3)之间滑动套接。
6.根据权利要求5所述的一种集成电路芯片静电消除组件,其特征在于:所述上夹持垫(7)和下夹持垫(8)均采用硬质橡胶制成,且上夹持垫(7)的下方以及下夹持垫(8)的上方均开设有光滑的弧形凹口。
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