[实用新型]一种单晶炉中副室的安装结构

说明书

本申请涉及一种单晶炉中副室的安装结构，涉及单晶炉技术领域，本申请中单晶炉中副室的安装结构包括光轴、用于与单晶炉机架相连接的立柱以及用于与副室相连接的副室连接架；光轴竖向设置且轴向滑动、周向限位的连接在立柱的一侧，立柱上设有能够带动光轴上下移动的第一驱动组件；副室连接架上固设有第一轴座，第一轴座可转动的套设在光轴上且光轴能够带动第一轴座上下移动；副室连接架上设置有驱动齿轮以及驱动驱动齿轮转动的第二驱动组件，光轴上固设有与驱动齿轮相啮合的从动齿轮。本申请中采用驱动齿轮与从动齿轮的啮合传动实现副室旋转，能够有效降低旋转卡滞现象，提高副室旋转的稳定性以及顺畅性，且其旋转动作和角度更加精准可靠。

技术领域

本申请涉及单晶炉技术领域，尤其是涉及一种单晶炉中副室的安装结构。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用加热器将多晶硅等熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉是半导体行业拉制单晶硅棒的主要设备。单晶炉的炉体通常包括副室、主室和下室。在拉晶过程中，多晶硅在主室中的石英坩埚中被高温熔化，通过引晶、转肩、等径、收尾、停炉等过程拉制出单晶硅棒。停炉一定时间后打开单晶炉副室的炉门，此时单晶硅棒的温度在300～500℃，温度比较高，人工难以取出，通常采用取晶装置把单晶硅棒从单晶炉的副室中取出。

此过程中需要副室能够自动升降以及旋转，传统的单晶炉副室安装结构中，通常采用曲柄连杆结构来实现副室的旋转，容易发生旋转卡滞现象。

实用新型内容

为了提高单晶炉中副室自动动作的稳定可靠性以及顺畅性，本申请提供一种单晶炉中副室的安装结构。

本申请提供的一种单晶炉中副室的安装结构采用如下的技术方案：

一种单晶炉中副室的安装结构,包括光轴、用于与单晶炉机架相连接的立柱以及用于与副室相连接的副室连接架；

所述光轴竖向设置且轴向滑动、周向限位的连接在所述立柱的一侧，所述立柱上设有能够带动所述光轴上下移动的第一驱动组件；

所述副室连接架上固设有第一轴座，所述第一轴座可转动的套设在所述光轴上且所述光轴能够带动所述第一轴座上下移动；

所述副室连接架上设置有驱动齿轮以及驱动所述驱动齿轮转动的第二驱动组件，所述光轴上固设有与所述驱动齿轮相啮合的从动齿轮。

通过采用上述技术方案，光轴在第一驱动组件的作用下带动整个副室连接架以及副室上下移动，驱动齿轮在第二驱动组件的驱动下转动，从动齿轮固定在光轴上，由于光轴与立柱周向限位，而立柱又与单晶炉机架固定连接，使得驱动齿轮转动时就会在反作用力下带动整个副室连接架以及副室绕着光轴转动，实现副室的旋转动作。本申请中采用驱动齿轮与从动齿轮的啮合传动实现副室旋转，相较之前传统的曲柄连杆驱动结构，使得驱动件所受径向力大大减小，延长了驱动件的使用寿命；且能够有效降低旋转卡滞现象，提高副室旋转的稳定性以及顺畅性，且其旋转动作和角度更加精准可靠。

可选的，所述立柱的侧面固设有第二轴座，所述光轴滑动插设在所述第二轴座中；所述立柱的侧面固设有沿立柱高度方向的直线导轨，所述光轴上固设有导向座且所述导向座滑动连接在所述直线导轨上。

通过采用上述技术方案，光轴能够在第二轴座中上下移动，通过导向座滑动连接在所述直线导轨，对光轴的升降移动起到导向和限位作用，提高第一驱动组件带动光轴上下移动的稳定可靠性，同时通过导向座与直线导轨的配合对光轴的周向自由度进行了限制，防止其转动。

可选的，所述立柱的下端侧面或靠近下端的侧面上固设有安装座，所述第一驱动组件包括设置在所述安装座上的第一驱动电机和升降机，所述第一驱动电机的输出轴通过所述升降机连接有竖向的丝杠，所述丝杠的上端与所述光轴的下端相连接，所述第一驱动电机能够带动所述丝杠在所述升降机中上下移动。