[实用新型]一种适用于金属掩膜版的缓冲单元和加工装置

说明书

本实用新型公开一种适用于金属掩膜版的缓冲单元和加工装置，包括：机架；第一从动辊，设置于机架一端；第二从动辊，设置于机架另一端；驱动辊，滑动设置于机架上，且位于第一从动辊和第二从动辊之间；金属掩膜版依次绕过第一从动辊、驱动辊、第二从动辊设置；驱动电机，设置于机架一侧，连接于驱动辊上，用于驱动驱动辊于机架上升降，本实用新型通过可升降设置的驱动辊来存储、释放金属掩膜版，并保证金属掩膜版蚀刻时的张力稳定。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种适用于金属掩膜版的缓冲单元和加工装置。

背景技术

现有技术中，金属掩膜版在经过蚀刻机构进行蚀刻后，会通过一压辊机构进行输送，由于金属掩膜版的厚度较薄，经过蚀刻后变的异常脆弱，压辊会造成金属掩膜版的不可逆损伤，容易造成产品报废。

实用新型内容

为解决以上技术问题，本实用新型提供了一种适用于金属掩膜版的缓冲单元，取消了现有技术中的压辊机构，通过可升降设置的驱动辊来存储、释放金属掩膜版，并保证金属掩膜版蚀刻时的张力稳定，减小产品报废率。

本实用新型采用以下技术方案：

一种适用于金属掩膜版的缓冲单元，包括：机架；第一从动辊，设置于机架一端；第二从动辊，设置于机架另一端；驱动辊，滑动设置于机架上，且位于第一从动辊和第二从动辊之间；金属掩膜版依次绕过第一从动辊、驱动辊、第二从动辊设置；驱动电机，设置于机架一侧，连接于驱动辊上，用于驱动驱动辊于机架上升降。

作为优选，所述驱动辊上设有张力感应器。

作为优选，所述机架包括底板、前安装板和后安装板，所述前安装板和后安装板上均设有安装槽。

作为优选，所述驱动辊两端均设有第一滑块，所述机架表面设有第一导向块，所述驱动辊通过第一滑块滑动配合于第一导向块上。

作为优选，驱动电机包括丝杠，所述丝杠一端连接于第一滑块上。

作为优选，所述机架表面设有第二导向块，所述丝杠上设有与第二导向块配合的第二滑块。

一种适用于金属掩膜版的加工装置，包括：放卷单元、蚀刻单元和裁切单元，所述蚀刻单元和裁切单元之间设有缓冲单元。

作为优选，金属掩膜版从放卷单元卷出，依次绕过蚀刻单元、第一从动辊、驱动辊、第二从动辊至裁切单元。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：本实用新型提供了一种适用于金属掩膜版的缓冲单元，取消了现有技术中的压辊机构，通过可升降设置的驱动辊来存储、释放金属掩膜版，并保证金属掩膜版蚀刻时的张力稳定，减小产品报废率。同时，本实用新型在驱动辊处设置了张力感应器，可实时监测驱动辊处的金属掩膜版的张力情况，防止驱动辊处的金属掩膜版出现张力异常的情况。

附图说明

图1为缓冲单元的结构示意图。

图2为图1的A部局部放大图。

图中，机架1、底板11、前安装板12、后安装板13、安装槽14、第一导向块15、第二导向块16、第一从动辊2、第二从动辊3、驱动辊4、第一滑块41、驱动电机5、丝杠51、第二滑块52、张力感应器6。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型技术方案，以下结合附图与具体实施例进行详细说明。

实施例1

如图1-2所示，一种适用于金属掩膜版的缓冲单元，包括：

机架1；

第一从动辊2，转动设置于机架1一端上侧；

第二从动辊3，转动设置于机架1另一端上侧；