[实用新型]具有声子栅阵微结构的雾化装置

权利要求书

1.一种具有声子栅阵微结构的雾化装置，其特征在于：包括压电基底、设置在压电基底表面的叉指换能器和声子栅阵微结构，所述声子栅阵微结构设于所述叉指换能器发出的声表面波传播方向的正前方，所述声子栅阵微结构包括若干栅阵式排列的栅阵微单元，所述栅阵微单元沿着所述声表面波传播方向进行横向均匀排列，所述栅阵微单元设为凹进所述压电基底表面的条形凹槽或凸出表面的条形凸台，所述栅阵微单元由可渗液材料构成用于渗透、输送和存储雾化液，所述相邻的栅阵微单元之间间隔距离的设置可使所述声表面波传播到所述各栅阵微单元时分别产生谐振，所述谐振使所述栅阵微单元的表面形成液膜并进一步将液膜雾化。

2.根据权利要求1所述的具有声子栅阵微结构的雾化装置，其特征在于：所述相邻栅阵微单元之间的间隔距离设为所述声表面波半波长的整数倍。

3.根据权利要求1所述的具有声子栅阵微结构的雾化装置，其特征在于：所述栅阵微单元的深度或高度设为2微米～200微米。

4.根据权利要求1所述的具有声子栅阵微结构的雾化装置，其特征在于：所述栅阵微单元的宽度设为所述声表面波波长的0.1～0.4倍。

5.根据权利要求1所述的具有声子栅阵微结构的雾化装置，其特征在于：所述可渗液材料为多孔材料，其孔隙率设为50％～70％。

6.根据权利要求1所述的具有声子栅阵微结构的雾化装置，其特征在于：还包括存储雾化液的储液仓和导液件，所述导液件连通所述储液仓和声子栅阵微结构，并将储液仓内存储的雾化液导流至所述声子栅阵微结构。

7.根据权利要求6所述的具有声子栅阵微结构的雾化装置，其特征在于：所述导液件包括连通设置的进液口、若干导流微通道和若干供液口，每一导流微通道分别连通一供液口，所述供液口分别与所述栅阵微单元匹配连接。

8.根据权利要求7所述的具有声子栅阵微结构的雾化装置，其特征在于：所述供液口的宽度与所述栅阵微单元的宽度相当，高度设为60微米～200微米。

9.根据权利要求1所述的具有声子栅阵微结构的雾化装置，其特征在于：所述压电基底由压电单晶结构构成，或由压电薄膜和基底组成的复合结构构成。

10.根据权利要求1所述的具有声子栅阵微结构的雾化装置，其特征在于：所述压电基底包括氧化黑化的压电晶片材料。

11.根据权利要求1所述的具有声子栅阵微结构的雾化装置，其特征在于：所述压电基底的厚度设为0.35毫米～1毫米。

12.根据权利要求1所述的具有声子栅阵微结构的雾化装置，其特征在于：所述叉指换能器设为双向叉指换能器，或设为单向单相换能器，或设为在双向叉指换能器的一侧加入反射栅构成的换能器。

13.根据权利要求1所述的具有声子栅阵微结构的雾化装置，其特征在于：所述叉指换能器上加载的交流电压的频率设定为3MH_Z～100MH_Z。

14.根据权利要求1所述的具有声子栅阵微结构的雾化装置，其特征在于：所述叉指换能器的电极指宽为15微米～80微米，长度为1毫米～50毫米，厚度为80纳米～2微米。