[实用新型]一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装

说明书

本实用新型公开了一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装，包括车架，所述车架的顶部设置有水箱，所述水箱内部的一侧设置有底座，所述底座的顶部通过垫片设置有底板，所述底板上设置有自上而下的水溢出槽，所述水溢出槽之间设有互通的水溢出孔。该一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装，工装整体结构稳定，员工操作简易，工装侧板与后板的设计，可以有效的减少硅片装片过程时，与侧板的摩擦，减少装片过程中的硅片异常受损和边缘受损，便于从后侧间取硅片碎片，底板溢水设计，可方便取湿硅片，可以很好的解决在没有下料台时的硅片下料问题，减少破片率，提高生产效率，达到了自动下料设备的设计要求，并相对减少了投入成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体硅片制造技术领域，具体为一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装。

背景技术

在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑，地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉，由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，硅片在生产加工完成后，需要将硅片存放在片篮中进行储存放置。

硅片制作工艺包括滚磨，沾棒，线切，倒角，研磨，酸碱腐，退火，抛光等工艺；在无蜡抛光工艺完成后，下料一般依靠人工取片进行下料，这样的生产过程不仅提高了人工成本，同时由于人手直接接触硅片，会导致晶片剥离的时候降低产品质量，并且提高了生产过程中的蹭伤率，现有的自动下料辅助设备，结构复杂，使用成本高，硅片下料过程中易受损，造成硅落异常。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装，以解决上述背景技术中提出的现有自动下料辅助设备，结构复杂，使用成本高，硅片下料过程中易受损，造成硅落异常的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装，包括车架，所述车架的顶部设置有水箱，所述水箱内部的一侧设置有底座，所述底座的顶部通过垫片设置有底板，所述底板上设置有自上而下的水溢出槽，所述水溢出槽之间设有互通的水溢出孔，所述底板两侧的底座上分别设有侧板，所述底座上设有通孔，所述通孔与水溢出孔相对应。

优选的，所述水箱的内侧靠近中间位置设置有隔断板，且隔断板的表面设置有导流孔。

优选的，所述车架的底部靠近四个边角处皆设置有支撑杆，所述车架一侧的支撑杆两侧底部皆设置有万向减震轮，且车架另一侧的支撑杆两侧底部皆设置有定向减震轮。

优选的，所述水箱的底部设置有排水管，且排水管上皆设置有控制阀门。

优选的，所述水箱的一侧表面设置有扶手，且扶手的表面设置有防滑纹路。

优选的，所述车架采用38*38不锈钢方钢材质，所述水箱的主架材质采用透明pvc板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

该一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装，在进行日常使用的过程中，工装整体结构稳定，员工操作简易，工装侧板与后板的设计，可以有效的减少硅片装片过程时，与侧板的摩擦，减少装片过程中的硅片异常受损和边缘受损，便于从后侧间取硅片碎片，底板溢水设计，可方便取湿硅片，可以很好的解决在没有下料台时的硅片下料问题，减少破片率，提高生产效率，达到了自动下料设备的设计要求，并相对减少了投入成本。

附图说明

图1为本实用新型的主视图；

图2为本实用新型的水箱和车架部分侧视图；

图3为本实用新型的俯视图；

图4为本实用新型的底座部分结构示意图。