[实用新型]一种适用于自动化生产的晶粒存储装置

说明书

本实用新型公开了一种适用于自动化生产的晶粒存储装置，包括储料直线模组、储料滑座及储料组件，储料直线模组竖直设置；储料滑座沿竖直方向可活动地设置在储料直线模组上；储料组件设置在储料滑座上；储料组件包括储料支架及储料箱；储料支架连接于储料滑座的侧壁上，储料支架上沿竖直方向间隔设有至少两个储存空间；储料箱包括至少两个，至少两个储料箱沿水平方向可滑动地经储存空间的开放面插入上述储存空间内；储料箱内设有载板储存空间，载板储存空间沿竖直方向包括至少两层单层空间。本实用新型采用双极多层储存结构，提升晶粒存储量，采用滑入式取放方式，且具备限位导向及阻挡定位功能，有效提升载板取放效率以及取放过程中位置准确度。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备领域，特别指一种适用于自动化生产的晶粒存储装置。

背景技术

在显示技术领域，目前已经量产的微型显示技术包括基于水晶玻璃的HTPS TFTLCD、基于硅晶圆的DLP等。由于OLED技术有发光效率、操作温度范围以及寿命等限制缺陷，从长远来看，无机的Micro LED将是未来微型显示的技术主流。随着传统平面显示技术与应用逐渐进入成熟期，未来显示应用发展将迈向穿戴或虚拟实境与扩增实境等领域，因对比值、面板精度及省电等因素影响，基于晶圆制程的微型显示技术更加适用于新兴应用。在晶圆上制作Micro LED阵列技术上已成熟，因此采用该技术的微型显示器有望投入量产，但是将此类技术向一般平板显示应用扩展时，晶粒巨量转移效率成为最大的技术瓶颈。如何有效地将LED晶粒转移到玻璃或塑胶基板上成为Micro LED技术大规模发展推广的关键因素。

在进行晶粒转移自动化设备（产线）研发过程中，需要通过载板装载晶粒以适应自动化生产过程中的物料搬移中转及上下料，通过单块载板承载多颗晶粒以保证上述生产过程中的效率。因此，在晶粒转移过程中需要解决载板的自动存储问题，载板存储与取放载板动作协同问题，以及载板存储过程中导向限位及固定问题，以便保证晶粒位置稳定性。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种采用双极多层储存结构，极大地提升晶粒存储量，采用滑入式取放方式，且具备限位导向及阻挡定位功能，有效提升载板取放效率以及取放过程中位置准确度的适用于自动化生产的晶粒存储装置。

本实用新型采用的技术方案如下：一种适用于自动化生产的晶粒存储装置，包括储料直线模组、储料滑座及储料组件，其中，

上述储料直线模组竖直设置；

上述储料滑座沿竖直方向可活动地设置在储料直线模组上，并与储料直线模组的输出端连接；

上述储料组件设置在储料滑座上；

上述储料组件包括储料支架及储料箱；

上述储料支架连接于上述储料滑座的侧壁上，储料支架上沿竖直方向间隔设有至少两个储存空间，储存空间的一侧为开放面；

上述储料箱包括至少两个，至少两个储料箱沿水平方向可滑动地经储存空间的开放面插入上述储存空间内，并经储料支架导向限位及卡紧；

上述储料箱内设有载板储存空间，载板储存空间沿竖直方向包括至少两层单层空间，形成多层储板结构，载板水平经单层空间滑入储板空间内。

优选的，所述储料支架还包括储料架体及储料隔板，其中，上述储料架体为矩形架体结构，储料支架的一侧及顶部为开放面；上述储料隔板包括至少两块，至少两块储料隔板沿竖直方向水平间隔地设置在储料架体内，将储料架体内空间分隔为至少两个储存空间。

优选的，所述储料支架包括至少两组限位阻挡组件，至少两组限位阻挡组件对应设置于各储存空间内，储料箱在储存空间内滑动时经限位阻挡组件限位和阻挡。