[实用新型]一种半导体圆晶清洗装置

权利要求书

1.一种半导体圆晶清洗装置，包括底座(1)和主动齿轮(9)，其特征在于：所述底座(1)的一侧顶部安装有支撑腿(2)，且所述支撑腿(2)的顶部连接有外桶体(3)，所述外桶体(3)的内腔开设有适配槽(4)，且所述适配槽(4)的内侧设有内桶体(5)，所述内桶体(5)的一端固定安装有移动座(6)，且所述移动座(6)的另一端连接有第一电机(7)，所述第一电机(7)的输出端连接有传动轴(8)，所述主动齿轮(9)套设于所述传动轴(8)的外表面，所述主动齿轮(9)的一侧连接有第一从动齿轮(10)，且所述第一从动齿轮(10)的内侧贯穿有联动轴(11)，所述联动轴(11)的外表面套设有第一清洗辊(12)，所述传动轴(8)的一端外侧套设有第二清洗辊(13)，所述内桶体(5)的内侧开设有清洗腔(14)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体圆晶清洗装置，其特征在于：所述联动轴(11)的一端连接有第二从动齿轮(15)，且所述第二从动齿轮(15)的底部连接有第三从动齿轮(16)，所述第三从动齿轮(16)的内侧贯穿有连通轴管(17)，且所述连通轴管(17)的一端连接有转动座(18)，所述转动座(18)的一侧安装有喷头(19)，所述连通轴管(17)的另一端连通有蓄水槽(20)，所述内桶体(5)的一端底部安装有电磁阀(21)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体圆晶清洗装置，其特征在于：所述外桶体(3)的内侧壁设有辅助滚珠(22)，所述外桶体(3)的一侧开设有通风槽(23)，且所述通风槽(23)的内腔连接有电加热丝(24)，所述电加热丝(24)的一侧分布有风机(25)，且所述风机(25)的另一侧设有防尘网(26)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体圆晶清洗装置，其特征在于：所述底座(1)的一侧安装有第二电机(27)，且所述第二电机(27)的输出端连接有螺纹杆(28)，所述螺纹杆(28)的外表面套设有螺纹套(29)，且所述螺纹套(29)的顶部连接有连接杆(30)，所述底座(1)的一端顶部开设有调节槽(31)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体圆晶清洗装置，其特征在于：所述内桶体(5)的内侧壁设有耐磨层(32)，且所述耐磨层(32)的底部连接有防渗层(33)，所述防渗层(33)的另一侧连接有导热层(34)，所述内桶体(5)的内侧壁贯穿有透气孔(35)，所述内桶体(5)的内腔顶部连接有软垫(36)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体圆晶清洗装置，其特征在于：所述主动齿轮(9)通过齿牙与所述第一从动齿轮(10)啮合连接，且所述第一从动齿轮(10)沿所述主动齿轮(9)的横向中心线对称分布。

7.根据权利要求4所述的一种半导体圆晶清洗装置，其特征在于：所述螺纹套(29)通过内螺纹与所述螺纹杆(28)啮合连接，且所述连接杆(30)通过所述螺纹套(29)与所述螺纹杆(28)滑动连接。