[实用新型]一种三氯氢硅提纯装置和精馏系统

权利要求书

1.一种三氯氢硅提纯装置，其特征在于，包括：一级精馏塔(1)、二级精馏塔(2)和氯硅烷精馏塔(3)和第一加热器(31)，

所述一级精馏塔(1)用于接收粗制三氯氢硅并对粗制三氯氢硅进行一次精馏，

所述二级精馏塔(2)与所述一级精馏塔(1)连通，用于接收经过一次精馏的三氯氢硅并进行二次精馏，以提纯出精制三氯氢硅，

所述氯硅烷精馏塔(3)与所述第一加热器(31)连通，用于通过第一加热器(31)对塔内的氯硅烷进行加热，以产生高温流体，

所述装置还包括一级再沸器(11)和二级再沸器(22)，

所述二级再沸器(22)设于二级精馏塔(2)和氯硅烷精馏塔(3)之间，并分别与二级精馏塔(2)和氯硅烷精馏塔(3)连通，用于分别接收氯硅烷精馏塔(3)中的高温流体和二级精馏塔(2)中的经过一次精馏的三氯氢硅，并通过所述高温流体加热二级精馏塔(2)中的三氯氢硅，以提供二次精馏所需的热量，

所述一级再沸器(11)设于一级精馏塔(1)和二级精馏塔(2)之间，并分别与一级精馏塔(1)和二级精馏塔(2)连通，用于分别接收粗制三氯氢硅和二级精馏塔(2)在二次精馏过程中产生的高温塔顶气，并通过所述高温塔顶气对粗制三氯氢硅加热，以提供一次精馏所需的热量。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述一级再沸器(11)设有第一外层通路和第一内层通路，所述第一外层通路环绕于所述第一内层通路的周围，

所述第一内层通路的入口和出口均与所述一级精馏塔(1)的塔釜连通，用于供一级精馏塔(1)内的粗制三氯氢硅循环流通，

所述第一外层通路的入口与所述二级精馏塔(2)的塔顶连通，用于接收所述二级精馏塔(2)在二次精馏过程中产生的高温塔顶气，以通过高温塔顶气加热通过第一内层通路的粗制三氯氢硅，从而实现粗制三氯氢硅的一次精馏。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括二级塔冷凝器(23)，

所述二级塔冷凝器(23)与所述第一外层通路的出口连通，用于对所述高温塔顶气进行冷凝，以分离出精制三氯氢硅。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述二级再沸器(22)设有第二外层通路和第二内层通路，所述第二外层通路环绕于所述第二内层通路的周围，

所述第二内层通路的入口和出口均与所述二级精馏塔(2)的塔釜连通，用于供二级精馏塔(2)内的三氯氢硅循环流通，

所述第二外层通路的入口与所述氯硅烷精馏塔(3)的塔釜连通，用于接收所述氯硅烷精馏塔(3)内的高温流体，以通过高温流体加热第二内层通路的三氯氢硅，从而实现三氯氢硅的二次精馏。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，还包括预热器(34)，所述预热器(34)设有第三内层通路和第三外层通路，所述第三外层通路环绕于所述第三内层通路的周围，

所述第三内层通路的入口与氯硅烷储罐连通，出口与所述氯硅烷精馏塔(3)连通，用于供氯硅烷流至氯硅烷精馏塔(3)内，

所述第三外层通路的入口与所述第二外层通路的出口连通，用于接收流经所述第二外层通路的高温流体，并通过所述高温流体对第三内层通路的氯硅烷进行预热，

所述第三外层通路的出口与下一工序连接，用于将所述高温流体输送至下一工序。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一加热器(31)为蒸汽再沸器,

所述第一加热器(31)的入口和出口均与所述氯硅烷精馏塔(3)的塔釜连通，用于供所述氯硅烷精馏塔(3)中的氯硅烷循环流通，并对流过的氯硅烷加热，以对氯硅烷进行精馏。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括第二加热器(21)，所述第二加热器(21)为蒸汽再沸器，

所述第二加热器(21)的入口和出口均与所述二级精馏塔(2)的塔釜连通，用于供所述二级精馏塔(2)内的三氯氢硅循环流通，并对流过的三氯氢硅补充热量，以保证精馏所需的热量。