[实用新型]一种坩埚水冷套筒节支撑固定装置

说明书

本实用新型公开一种坩埚水冷套筒节支撑固定装置，包括中心支撑环和多个径向延伸的伸缩臂，多个伸缩臂围绕中心支撑环沿周向均匀排布，伸缩臂的内端连接中心支撑环，伸缩臂的外端设置有支撑板，支撑板与待加工水冷套筒节的内壁相抵，伸缩臂能够径向伸缩，使各支撑板顶紧待加工水冷套筒节的内壁。焊接水冷套筒节时，将水冷套筒节套装在装置外周，通过伸缩臂径向伸出，使各个支撑板顶紧水冷套筒节的内壁，为水冷套筒节提供支撑，结构简单操作简便，降低制造成本，通过伸缩臂实现尺寸调节，可用于不同直径、厚度筒节的防变形支撑，提升装置适用性，支撑稳定可靠，保证了水冷套设备圆度检验要求，延长水冷套在坩埚生产中的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及坩埚加工领域，特别是涉及一种坩埚水冷套筒节支撑固定装置。

背景技术

石英坩埚是用于单晶硅行业的加工工具。通常石英坩埚的制造方法是电弧法，将石英砂加入到旋转的成型模具内，模具放于旋转的水冷套中，用成型棒将石英砂均匀的铺在成型模具内壁上，通过电极起弧放热的热量将石英砂熔融成型，成型后取出模具冷却，冷却后经过后道加工，形成成品。

水冷套的圆度是水冷套设备加工合格的重要指标，水冷套如果圆度不合格，旋转时发生偏心，不仅影响坩埚的成型质量，还会造成主轴偏心晃动，疲劳损伤，影响水冷套的使用寿命。由于水冷套筒节采用不锈钢材质焊接而成，在制造过程中由于焊接应力容易发生变形，这就导致坩埚熔融成型时，水冷套会发生偏心。

因此，如何提供一种防止水冷套筒节加工时焊接变形的坩埚水冷套筒节支撑固定装置是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种坩埚水冷套筒节支撑固定装置，通过能够径向伸缩的伸缩臂，在水冷套筒节焊接制造过程中起到有效的支撑和防变形作用，保证了水冷套圆度检验要求。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种坩埚水冷套筒节支撑固定装置，包括中心支撑环和多个径向延伸的伸缩臂，多个所述伸缩臂围绕所述中心支撑环沿周向均匀排布，所述伸缩臂的内端连接所述中心支撑环，所述伸缩臂的外端设置有支撑板，所述支撑板与待加工水冷套筒节的内壁相抵，所述伸缩臂能够径向伸缩，使各支撑板顶紧待加工水冷套筒节的内壁。

优选地，所述伸缩臂包括径向延伸且同轴布置的支撑臂和丝杠，所述支撑臂的内端连接所述中心支撑环，所述支撑臂的外端通过螺母连接所述丝杠的内端，所述丝杠的外端连接所述支撑板，旋转所述螺母以使所述丝杠沿径向伸缩。

优选地，还包括卡环、固定环、内固定板和外固定板，所述丝杠外端侧面的外周设置有环形卡槽，所述卡环插入所述环形卡槽内，所述卡环的外侧面连接所述固定环，所述丝杠的外端穿过所述卡环和所述固定环，所述固定环的外侧面连接所述内固定板，所述内固定板的外侧面连接所述外固定板，所述外固定板的外侧面连接所述支撑板，所述丝杠的轴线垂直于所述内固定板和所述外固定板。

优选地，所述卡环包括相互拼接的两个半环，所述卡环与所述固定环螺栓连接，所述固定环与所述内固定板焊接，所述内固定板和所述外固定板螺栓连接，所述外固定板和所述支撑板焊接。

优选地，所述中心支撑环与所述伸缩臂内端可拆卸连接。

优选地，所述中心支撑环外周设置有多个固定臂，多个所述固定臂沿周向均匀排布，所述固定臂外端和所述伸缩臂通过法兰螺栓连接。

优选地，包括均匀分布的八个所述伸缩臂。

优选地，所述中心支撑环内设置有加强筋板和盖板。

优选地，所述支撑板与待加工水冷套筒节的内壁接触的外侧边缘为弧形边，所述弧形边与待加工水冷套筒节的内壁形状匹配。

优选地，所述弧形边的中部设置向内凹陷的缺口。