[实用新型]一种多面间接性超声波清洗槽

说明书

本实用新型涉及泛半导体及半导体清洗技术领域，具体涉及一种多面间接性超声波清洗槽，具有外槽，外槽设有石英内槽，石英内槽设有花篮，外槽设有多个对应于石英内槽的超声波振子。本实用新型利用超声波可以穿透特定厚度石英的特性，采用双层槽结构，外层槽设置成水浴槽，工件及药液则在石英内槽反应。配置超声波振子能够利用水能传导超声波，穿透石英槽，使超声波传导至内槽药液中，对工件进行超声波清洗。此清洗过程中，超声波振子不与石英内槽内的药液直接接触，可有效避免超声波振子的腐蚀以及药液的高温影响，大大地延长了使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及泛半导体及半导体清洗技术领域，具体涉及一种多面间接性超声波清洗槽。

背景技术

现有的泛半导体及半导体清洗工艺中，因超声波震子为不锈钢集成件并且对环境温度有要求，使部分高温碱洗工艺及酸洗工艺受到了使用局限。目前通俗的做法是对超声波震子的不锈钢外壳做镀铬或者喷氟(含氟涂层)处理，因受表面震动影响，整体使用寿命不长，且此类方法不能使用在高温药液中。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术的缺陷，提供一种多面间接性超声波清洗槽。

实现本实用新型目的的技术方案是：

一种多面间接性超声波清洗槽，具有外槽，所述外槽设有石英内槽，所述石英内槽设有花篮，所述外槽设有多个对应于所述石英内槽的超声波振子。

上述技术方案所述超声波振子设有连接于所述外槽内壁的三个。

上述技术方案三个所述超声波振子分别对应于所述花篮的下方和四周共5个方位中的任意三个。

上述技术方案三个所述超声波振子分别对应于所述花篮的下方、以及四周中的两个对立方位。

上述技术方案所述外槽设有加热装置，所述加热装置用以加热外槽水。

上述技术方案所述外槽设有冷却装置，所述冷却装置用以冷却外槽水。

上述技术方案所述外槽包括镂空安装平台，所述石英内槽固定于所述镂空安装平台。

上述技术方案所述石英内槽的上端设有溢流口、以及对应于所述溢流口的溢流槽。

上述技术方案所述溢流口为锯齿形，所述溢流槽设有内槽排液口。

上述技术方案所述石英内槽设有花篮限位座，所述花篮限位连接于所述花篮限位座。

采用上述技术方案后，本实用新型具有以下积极的效果：

本实用新型利用超声波可以穿透特定厚度石英的特性，采用双层槽结构，外槽设置成水浴槽，工件及药液则在石英内槽反应。配置超声波振子能够利用水能传导超声波，穿透石英槽，使超声波传导至内槽药液中，对工件进行超声波清洗。此清洗过程中，超声波振子不与石英内槽内的药液直接接触，可有效避免超声波振子的腐蚀以及药液的高温影响，大大地延长了使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：外槽1、石英内槽2、花篮3、超声波振子4、镂空安装平台11、溢流口21、溢流槽22、内槽排液口23、花篮限位座5。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。