[实用新型]一种镀膜机基片架自动翻面的装置有效
申请号: | 202222520600.3 | 申请日: | 2022-09-23 |
公开(公告)号: | CN218756007U | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 王勇 | 申请(专利权)人: | 成都四盛科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610000 四川省成都市经济技*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镀膜 机基片架 自动 装置 | ||
本实用新型公开了一种镀膜机基片架自动翻面的装置,包括:镀膜机机壳、固定安装在镀膜机机壳上的电机、基片架和气缸,所述电机的输出端连接有转杆,所述转杆的底端固定连接有基片架,且基片架的外侧面焊接有挡板,所述挡板的内侧设置有放置板,所述放置板的内端固定有第一连接杆,且放置板远离第一连接杆的一端固定有手动伸缩杆,所述手动伸缩杆的输出端固定连接有第二连接杆,所述气缸的底端固定有挡杆。该镀膜机基片架自动翻面的装置,放置板在水平界面上旋转时,挡杆戳动引导杆使得放置板在垂直界面上旋转,便于放置板上的基片翻面,翻面结构简单,镀膜工作结束之后,维修清理时,便于拆装放置板。
技术领域
本实用新型涉及镀膜机相关技术领域,具体为一种镀膜机基片架自动翻面的装置。
背景技术
镀膜机在给基片镀膜时,将基片安装在基片架上,为均匀镀膜,需要给基片架翻面,如授权公告号为CN204174265U的中国实用新型专利公开了一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置,在镀膜过程中,翻转镀膜治具在中心回转轴的驱动下,按照成膜工艺要求按照一定的速度做匀速旋转运动,以满足成膜工艺的成膜需求。待承载与翻转镀膜治具的基板完成一面的成膜后,拨盘驱动机构会伸出拨杆当每一块安装于镀膜翻转治具外侧的翻转驱动拨盘公转至拨杆处时,就会被伸出的拨杆拨动而绕转轴旋转,从而实现翻面;
但现有技术中的翻面结构复杂,操作繁琐,在镀膜工作结束之后,不方便拆装用于承接基片的结构,因此,我们提出一种镀膜机基片架自动翻面的装置,以便于解决上述中提出的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种镀膜机基片架自动翻面的装置,以解决上述背景技术中提出的现有的镀膜机基片架自动翻面的装置,翻面结构复杂,操作繁琐,在镀膜工作结束之后,不方便拆装用于承接基片的结构的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种镀膜机基片架自动翻面的装置,包括:镀膜机机壳和固定安装在镀膜机机壳上的电机,所述电机的输出端连接有转杆;
其特征在于,还包括:
基片架,所述转杆的底端固定连接有基片架,且基片架的外侧面焊接有挡板,所述挡板的内侧设置有放置板,且放置板的上表面和下表面均焊接有引导杆,所述放置板的内端固定有第一连接杆,且放置板远离第一连接杆的一端固定有手动伸缩杆,所述手动伸缩杆的输出端固定连接有第二连接杆;
气缸,所述气缸固定在镀膜机机壳的内部顶壁上,所述气缸的底端固定有挡杆。
优选的,所述挡板将基片架等角度分隔出四个空间。
优选的,所述放置板等角度设置在基片架的内部,所述放置板通过第一连接杆和第二连接杆转动安装在基片架上。
优选的,所述放置板的内部开设有矩形孔。
优选的,所述引导杆倾斜安装在放置板上。
优选的,所述第二连接杆的末端转动安装在基片架上。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该镀膜机基片架自动翻面的装置,放置板在水平界面上旋转时,挡杆戳动引导杆使得放置板在垂直界面上旋转,便于放置板上的基片翻面,翻面结构简单,镀膜工作结束之后,维修清理时,便于拆装放置板;
1.设置有基片架、放置板和挡杆,电机通过转杆和基片架带动放置板在水平界面上旋转,挡杆戳动放置板上的引导杆,使得放置板在垂直界面上旋转,使得放置板上的基片翻面,翻面结构简单;
2.设置有基片架、放置板和手动伸缩杆,通过缩短手动伸缩杆的长度,使得第二连接杆离开基片架,从基片架的内部拆下放置板,方便拆装放置板。
附图说明
图1为本实用新型正视剖切结构示意图;
图2为本实用新型俯视剖切结构示意图;
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