[实用新型]一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机

权利要求书

1.一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，包括溅射镀膜机本体（1），所述溅射镀膜机本体（1）的内部安装有掩膜片本体（2），且掩膜片本体（2）外侧的边缘处设置有固定框（3），并且固定框（3）与掩膜片本体（2）之间通过紧固螺栓（4）进行固定；

其中，所述固定框（3）在掩膜片本体（2）的外侧呈等角度设置；

其特征在于，还包括：

活动安装板（8），所述活动安装板（8）与固定框（3）之间通过卡槽的方式相连接，且活动安装板（8）呈“U”字形结构，并且活动安装板（8）远离掩膜片本体（2）垂直中轴线一侧的中部开设有具有限位作用的固定槽（9）；

连接机构（10），所述连接机构（10）用于对活动安装板（8）与溅射镀膜机本体（1）之间进行限位，且活动安装板（8）通过活动柱（6）和连接机构（10）带动掩膜片本体（2）在溅射镀膜机本体（1）的内部构成拆卸结构。

2.根据权利要求1所述的一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，其特征在于：所述活动安装板（8）靠近掩膜片本体（2）垂直中轴线一侧的中部开设有连接槽（5），且连接槽（5）的中部插接有用于连接的活动柱（6），并且活动柱（6）的外表面套设有第一弹簧（7）。

3.根据权利要求2所述的一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，其特征在于：所述活动柱（6）与固定框（3）之间通过转动的方式相连接，且活动柱（6）用于对固定框（3）与活动安装板（8）之间进行连接与限位。

4.根据权利要求3所述的一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，其特征在于：所述活动安装板（8）远离掩膜片本体（2）垂直中轴线的一侧贯穿连接在支撑板（16）的中部，且支撑板（16）固定连接在溅射镀膜机本体（1）的内侧壁上。

5.根据权利要求1所述的一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，其特征在于：所述连接机构（10）与活动安装板（8）之间呈一一对应设置；

其中，所述连接机构（10）包括呈“L”形结构的连接板（11）、设置在所述连接板（11）与支撑板（16）连接处的第二弹簧（12）、固定连接在所述连接板（11）上端的辅助块（13）、呈“U”字形结构的固定杆（14）和具有限位作用的固定帽（15）。

6.根据权利要求5所述的一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，其特征在于：所述连接板（11）与支撑板（16）之间通过滑动的方式相连接，且连接板（11）的下端卡合连接在固定槽（9）中，并且连接板（11）与第二弹簧（12）的活动端固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，其特征在于：所述连接板（11）带动辅助块（13）与固定杆（14）之间构成滑动结构，且固定杆（14）固定连接在支撑板（16）的上端。

8.根据权利要求7所述的一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，其特征在于：所述固定杆（14）与固定帽（15）之间通过螺纹的方式相连接，且固定帽（15）贴合设置在辅助块（13）的内侧面。