[实用新型]一种防震悬吊暂存装置有效

专利信息
申请号: 202222524014.6 申请日: 2022-09-23
公开(公告)号: CN218778201U 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 冯庆雄;王志峰;杨大鹏;丘晓明 申请(专利权)人: 厦门普诚科技有限公司
主分类号: B65G35/00 分类号: B65G35/00;F16F15/02;H01L21/677;H01L21/68
代理公司: 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 代理人: 程劲竹
地址: 361000 福建省厦门市火炬*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 防震 悬吊 暂存 装置
【权利要求书】:

1.一种防震悬吊暂存装置,其特征在于:包括与安装面固定的轨道、与所述轨道滑动配合的悬吊结构、固定于所述悬吊结构末端的支架以及固定于所述支架上的承载盘面,所述承载盘面包括盘面本体和安装板,所述盘面本体与所述安装板之间设有若干防震垫,所述防震垫包括弹性柱、固定于所述弹性柱顶部的第一定位片、固定于所述第一定位片的第一连接螺杆、固定于所述弹性柱底部的第二定位片以及固定于所述第二定位片的第二连接螺杆,所述盘面本体与所述第一连接螺杆固定连接,所述安装板与所述第二连接螺杆固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种防震悬吊暂存装置,其特征在于:所述盘面本体设有与所述第一连接螺杆配合的第一连接孔,所述盘面本体安装于所述第一连接螺杆并通过螺栓锁紧固定;所述安装板设有与所述第二连接螺杆配合第二连接孔,所述安装板安装于所述第二连接螺杆并通过螺栓锁紧固定。

3.根据权利要求1所述的一种防震悬吊暂存装置,其特征在于:所述第一连接螺杆设有第一止转槽,第二连接螺杆设有第二止转槽。

4.根据权利要求3所述的一种防震悬吊暂存装置,其特征在于:所述第一止转槽与所述第二止转槽为一字槽、十字槽或内六角槽。

5.根据权利要求1所述的一种防震悬吊暂存装置,其特征在于:所述弹性柱包括上下对称设置的第一弹性部和第二弹性部,所述第一弹性部与所述第二弹性部均为圆台形柱体,所述第一弹性部与所述第二弹性部为一体成型结构。

6.根据权利要求1所述的一种防震悬吊暂存装置,其特征在于:所述弹性柱的材质为硅胶。

7.根据权利要求1所述的一种防震悬吊暂存装置,其特征在于:所述盘面本体表面设有若干用于对晶圆盒进行定位的定位柱。

8.根据权利要求1所述的一种防震悬吊暂存装置,其特征在于:所述盘面本体为充气盘面,所述充气盘面设有充气孔和出气孔。

9.根据权利要求8所述的一种防震悬吊暂存装置,其特征在于:所述安装板底部设有主控箱体,所述充气孔与所述出气孔均连接所述主控箱体。

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