[实用新型]一种电弧离子镀的圆环靶材有效
| 申请号： | 202222535085.6 | 申请日： | 2022-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN218932274U | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 毕凯;陈大民 | 申请（专利权）人： | 嘉兴岱源真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738 | 代理人： | 曹硕 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电弧 离子镀 圆环 | ||
【权利要求书】：
1.一种电弧离子镀的圆环靶材，其特征在于：所述电弧离子镀的圆环靶材包括一个靶材，一个位于所述靶材一侧的磁靴，一个设置所述磁靴上的中心磁铁，以及一个设置在所述靶材的外围的电磁线圈，所述靶材呈环形结构并包括一个本体，以及一个设置在所述本体的中心位置的通孔，所述中心磁铁位于所述通孔内且与所述通孔的内侧壁间隔设置，所述中心磁铁用于提供轴向的磁场，所述中心磁铁上粘贴有一层防有害物质蒸发层，所述中心磁铁的磁场方向与所述电磁线圈之间形成会切磁场。
2.如权利要求1所述的电弧离子镀的圆环靶材，其特征在于：所述本体为金属靶材、导电的陶瓷靶材或合金靶材。
3.如权利要求1所述的电弧离子镀的圆环靶材，其特征在于：所述中心磁铁为电磁铁或永久磁铁。
4.如权利要求1所述的电弧离子镀的圆环靶材，其特征在于：所述防有害物质蒸发层的材料与所述靶材的材料相同或选用有利于提高和改善涂层性能的材料。
5.如权利要求1所述的电弧离子镀的圆环靶材，其特征在于：所述电磁线圈为同极性磁铁。
6.如权利要求1所述的电弧离子镀的圆环靶材，其特征在于：所述通孔为圆形通孔。
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