[实用新型]一种应用于半导体低温泵电机调节装置

说明书

本实用新型公开的属于低温泵技术领域，具体为一种应用于半导体低温泵电机调节装置，包括安装板，所述安装板顶部右前端水平设置有第一安装座，两个所述第一安装座设置有第一圆形通孔，所述安装板顶部设置有第一安装槽口，所述安装板顶部后左端水平设置有第二安装座，两个第二安装座设置有第二圆形通孔，所述安装板顶部设置有第二安装槽口，所述安装板顶部设置有两个连接槽口，所述安装板顶部设置有第一输出槽口，该实用新型，两个水平对称的第一安装座和两个水平对称的第二安装座之间对电机起到平衡力矩的作用，防止电机不居中，两个水平对称的安装座在低温泵运行中，对电机轴动起到稳定作用，防止电机轴转动时对电机发生晃动。

技术领域

本实用新型涉及低温泵技术领域，具体为一种应用于半导体低温泵电机调节装置。

背景技术

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面,现有技术当中半导体低温泵设备不居中，导致电机无法达到稳定状态，因此需要研发一种应用于半导体低温泵电机调节装置。

实用新型内容

本部分的目的在于概述本实用新型的实施方式的一些方面以及简要介绍一些较佳实施方式。在本部分以及本申请的说明书摘要和实用新型名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和实用新型名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本实用新型的范围。

为解决上述技术问题，根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供了如下技术方案：

一种应用于半导体低温泵电机调节装置，其包括：安装板，所述安装板顶部右前端水平设置有第一安装座，两个所述第一安装座设置有第一圆形通孔，所述安装板顶部设置有第一安装槽口，所述安装板顶部后左端水平设置有第二安装座，两个第二安装座设置有第二圆形通孔，所述安装板顶部设置有第二安装槽口。

作为本实用新型所述的一种应用于半导体低温泵电机调节装置的一种优选方案，其中：所述安装板顶部设置有两个连接槽口。

作为本实用新型所述的一种应用于半导体低温泵电机调节装置的一种优选方案，其中：所述安装板顶部设置有第一输出槽口，所述第一输出槽口位于第一安装座旁。

作为本实用新型所述的一种应用于半导体低温泵电机调节装置的一种优选方案，其中：所述安装板顶部设置有第二输出槽口，所述第二输出槽口位于第二安装座旁。

作为本实用新型所述的一种应用于半导体低温泵电机调节装置的一种优选方案，其中：所述第一安装槽口位于两个第一安装座内腔底部。

作为本实用新型所述的一种应用于半导体低温泵电机调节装置的一种优选方案，其中：所述第二安装槽口位于两个第二安装座内腔底部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：两个水平对称的第一安装座和两个水平对称的第二安装座之间对电机起到平衡力矩的作用，防止电机不居中，两个水平对称的安装座在低温泵运行中，对电机轴动起到稳定作用，防止电机轴转动时对电机发生晃动。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将结合附图和详细实施方式对本实用新型进行详细说明，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型俯视结构示意图；

图3为本实用新型侧俯视结构示意图。