[实用新型]用于金刚线切割硅材料废液中硅粉回收过滤装置

说明书

本实用新型公开了一种用于金刚线切割硅材料废液中硅粉回收过滤装置，包括过滤罐、进液口、出液口和硅粉收集管，过滤罐内设有布水器、滤料室和压滤室，压滤室底部设有硅粉收集锥斗，布水器侧壁上连通有进气管，滤料室内设有滤料，压滤室内均布有竖直设置的微孔过滤管，微孔过滤管顶部与布水器连通，微孔过滤管底部与硅粉收集锥斗连通；本实用新型通过在过滤罐内依次设置有滤料室、布水器和压滤室，通过滤料室对切割废液进行第一次吸附过滤处理，通过布水器将从滤料室流出的废液分布至压滤室内进行压滤过滤，同时布水器连接有进气管，在卸渣时用压缩空气反吹吹滤饼，延长微孔过滤管的使用寿命，能够有效实现硅粉过滤，去除率固相高达90％以上。

技术领域

本实用新型属于硅；其化合物的技术领域，具体是涉及一种用于金刚线切割硅材料废液中硅粉回收过滤装置。

背景技术

在实际的金刚线切割加工中，有两步工序的加工过程，一是硅锭的开方切割；另一是把开方后的小硅锭切割加工成硅片。这两种工序中形成的硅粉悬浮液中，液相的成份相似，而固相的硅粉颗粒度大小及分布是有很大差别的，其中金刚线开方切割液中被磨削下来的硅粉粒度分布范围0.5-18um，小于3um占67％，平均直径3.5um；试验证明只有微孔过滤设备才能有效过滤固相粒度这么小的悬浮液，能够在滤材表面能形成一定厚度的滤饼且不会造成滤材堵塞，现有的硅粉回收过滤装置采用压滤板和压滤布进行过滤，这种过滤方式过滤效率低，硅粉回收率差。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种用于金刚线切割硅材料废液中硅粉回收过滤装置，该用于金刚线切割硅材料废液中硅粉回收过滤装置通过在过滤罐内依次设置有滤料室、布水器和压滤室，通过滤料室对切割废液进行第一次吸附过滤处理，通过布水器将从滤料室流出的废液分布至压滤室内进行压滤过滤，同时布水器连接有进气管，在卸渣时用压缩空气反吹吹滤饼，延长微孔过滤管的使用寿命，能够有效实现硅粉过滤，去除率固相高达90％以上。

为了达到上述目的，本实用新型一种用于金刚线切割硅材料废液中硅粉回收过滤装置，包括与水泵和废液池连接的过滤罐，所述过滤罐顶部设置有进液口，所述过滤罐底部设置有出液口和硅粉收集管，所述过滤罐内设置有布水器，所述过滤罐内位于布水器上方设置有与进液口连通的滤料室，所述过滤罐内位于布水器下方设置有与出液口和硅粉收集管连通的压滤室，所述压滤室底部中间位置设置有与硅粉收集管连通的硅粉收集锥斗，所述布水器内设置有布水仓，所述布水器侧壁上连通有延伸出过滤罐的进气管，所述滤料室内设置有滤料，所述压滤室内均布有竖直设置的微孔过滤管，所述微孔过滤管顶部与布水仓连通，所述微孔过滤管底部与硅粉收集锥斗连通。

进一步，所述压滤室底部设置有安装架，所述硅粉收集锥斗封闭在安装架底部，所述安装架上均布有用于固定微孔过滤管底部的安装座，所述安装座中间设置有与硅粉收集锥斗连通的通孔，所述安装架与过滤罐内壁之间设置有出水槽，所述出水槽底部连通有出水仓，所述硅粉收集锥斗套装在出水仓内，所述出水仓底部与出液口连通。

进一步，所述布水器底部均布有用于固定微孔过滤管顶部的安装座I，安装座I中间设置有与布水仓连通的通孔I。

进一步，所述布水器顶部中间处设置有与滤料室连通的进水孔，所述进水孔底部与布水仓连通。

进一步，所述滤料室内设置有滤料网架，所述滤料填充在滤料网架内，所述滤料网架与过滤罐内壁之间设置有出水间隙。

进一步，所述滤料网架中间设置有使废液向外侧流动的导料板。

进一步，还包括过滤箱，所述过滤罐设置为不少于2个且均布在过滤箱内。

进一步，所述水泵出口设置有与过滤罐一一连通的进液管，所述进液管上设置有开关阀。

本实用新型的有益效果在于：