[实用新型]一种缺陷检测装置

权利要求书

1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括交替作业的明场照明系统以及暗场照明系统，分别用于产生被测物(108)使用的明场光和暗场光，并通过第一光路将携带有被测物(108)信息的明场光和暗场光投射至第一相机(112)和第二相机(111)内。

2.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第一光路包括第一分光棱镜(104)和第二分光棱镜(110)，所述第一分光棱镜(104)接收由所述被测物(108)反射的明场光和暗场光，后将明场光和暗场光投射至第二分光棱镜(110)，所述第二分光棱镜(110)将所述明场光分至第一相机(112)和第二相机(111)。

3.根据权利要求2所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第一光路还包括中继透镜(109)，用于接收来自第一分光棱镜(104)透射的明场光和暗场光，并投射至第二分光棱镜(110)。

4.根据权利要求3所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第一光路还包括物镜(105)，所述物镜(105)接收由所述被测物(108)反射的明场光和暗场光，后将所述明场光和暗场光投射至所述第一分光棱镜(104)。

5.根据权利要求2所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述明场照明系统包括明场光源(101)以及第二光路，所述明场光源(101)产生明场光并通过所述第二光路将所述明场光投射至第一分光棱镜(104)，并经由所述第一分光棱镜(104)通过物镜(105)投射至被测物(108)。

6.根据权利要求5所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第二光路包括反射镜(103)，所述反射镜(103)将明场光源(101)产生的明场光反射至所述第一分光棱镜(104)。

7.根据权利要求6所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第二光路还包括准直镜(102)，所述准直镜(102)将所述反射镜(103)反射的明场光准直后投射至第一分光棱镜(104)。

8.根据权利要求4所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述暗场照明系统包括配置在所述被测物(108)照明范围内的环形暗场(107)以及与所述环形暗场(107)连接的暗场光源(106)，所述环形暗场(107)为所述被测物(108)提供暗场照明环境。

9.根据权利要求8所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述环形暗场(107)配置在所述被测物(108)与所述物镜(105)之间。

10.根据权利要求1～9任一项所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第一相机(112)为主线扫相机，所述第二相机(111)为辅助线扫相机。