[实用新型]静电除尘模块和装置、及应用其的激光器

说明书

本实用新型提供了一种静电除尘模块和装置、及应用其的激光器，其中静电除尘模块包括依次交替且相互平行间隔布设的低压除尘板和高压除尘板；相邻的低压除尘板和高压除尘板之间形成空气流道；在空气流道的入口处，所述低压除尘板凸出所述高压除尘板设置，相邻两个所述低压除尘板的凸出部之间形成一个电离区；所述电离区内设置有高压电极，经电离后的被净化气体流经空气流道，被净化气体中带有电荷的颗粒物被吸附在低压除尘板或高压除尘板上。本实用新型的静电除尘模块及装置将电离区和除尘区分开，除尘区为平面结构，大大提高了除尘效果。

技术领域

本实用新型涉及准分子激光器技术领域，尤其是涉及一种静电除尘模块和装置、以及应用该模块和装置的激光器。

背景技术

在高端光刻领域，准分子激光器的激光具有高重频、窄线宽和大能量的特点，因此，准分子激光器的激光在半导体光刻领域的应用中属于占主导地位的光源。

在实际应用中，准分子激光器的放电腔内部的气体存在下述问题，一是气体具有腐蚀性，二是存在高重复频率的高压放电及高温环境，造成放电腔内部气体存在大量的放电粉尘。然而，放电粉尘会对镜片造成污染，导致镜片存在热应力集中及光学性能下降等问题。

现有技术中，为了解决上述技术问题，通常采用静电除尘装置对气体进行清洁后，再将洁净的气体回流到放电腔中。如美国专利US7819945B2公开了一种金属氟化物捕获阱(Metal fluoride trap)，其采用管-线结构，通过给沉淀管中的中心导线施加高压，使得气体中的粉尘携带电荷以及使粉尘漂移在沉淀管管壁，以清除气体中的粉尘。

然而，现有技术中的上述清除气体粉尘的方法使得粉尘荷电和粉尘漂移位于同一时间和空间，为了维持管路中稳定的电晕放电以及电场强度，管路中的高压线不能被施加过量的电压，否则会造成拉弧放电的产生。因此，现有技术的除尘方法导致清除气体粉尘的效率偏低。因此，如何改善现有技术中存在的静电除尘器清除气体粉尘的效率低是需要解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种静电除尘模块和装置、及应用其的激光器，以解决现有技术中存在的至少一个上述技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种静电除尘模块，其包括：依次交替且相互平行间隔布设的低压除尘板和高压除尘板；

相邻的低压除尘板和高压除尘板之间形成空气流道；

在空气流道的入口处，所述低压除尘板凸出所述高压除尘板设置，相邻两个所述低压除尘板的凸出部之间形成一个电离区；所述电离区内设置有高压电极，用于对被净化气体进行电离处理；

经电离后的被净化气体流经空气流道，被净化气体中带有电荷的颗粒物被吸附在低压除尘板或高压除尘板上。

进一步地，所述静电除尘模块外侧为所述低压除尘板；两个最外侧的低压除尘板之间间隔设置有若个所述高压除尘板。

进一步地，所述高压除尘板与相邻低压除尘板之间的距离相等；即所有所述空气流道的宽度相同。

和/或高压电极与相邻低压除尘板之间的距离相等。相邻的两个低压除尘板之间设置有一个电离区，所有电离区上高压电极布放数量、位置和间距相同。

进一步地，在所述电离区内，在平行于所述低压除尘板的投影平面内，若干根所述高压电极间隔布设；高压电极与两侧的所述低压除尘板距离相等。

进一步地，还包括由绝缘材料制成的第一安装板和第二安装板；

所述低压除尘板和高压除尘板两端分别与所述第一安装板和第二安装板固定连接；第一安装板、第二安装板以及相邻的两个低压除尘板和高压除尘板之间合围出所述空气流道。

进一步地，所述第一安装板和第二安装板在所述空气流道入口处凸出设置有帽檐部；