[实用新型]一种炉管装置

权利要求书

1.一种炉管装置，其特征在于，包括：

双层反应管，所述双层反应管设有内层反应管和罩于所述内层反应管外周上的外层反应管，所述内层反应管中用于放置垂直装载有多层产品的晶舟，所述外层反应管与所述内层反应管之间形成空腔，所述内层反应管的第一侧壁上纵向设有多个进气孔，所述内层反应管相对所述第一侧壁的第二侧壁上纵向设有多个出气孔，所述空腔包括相互隔离的第一空腔和第二空腔，所述第一空腔连通所述进气孔，所述第二空腔连通所述出气孔，所述第一空腔的底部上设有反应气体入口，所述外层反应管的顶部上设有连通所述第二空腔的排气口。

2.根据权利要求1所述的炉管装置，其特征在于，所述第一空腔中设有封闭的混气室，所述混气室连通所述进气孔和所述反应气体入口。

3.根据权利要求2所述的炉管装置，其特征在于，所述混气室为一个，并罩设于所述进气孔以外的所述内层反应管的第一侧壁上。

4.根据权利要求1所述的炉管装置，其特征在于，所述出气孔的数量与所述进气孔的数量相同或不同。

5.根据权利要求1所述的炉管装置，其特征在于，所述出气孔与所述进气孔在所述内层反应管上的设置高度一一对应。

6.根据权利要求5所述的炉管装置，其特征在于，高度对应的所述出气孔与所述进气孔之间连线位于产品表面以上。

7.根据权利要求1所述的炉管装置，其特征在于，各所述进气孔的面积相等。

8.根据权利要求1所述的炉管装置，其特征在于，各所述出气孔的面积自上而下逐渐增大。

9.根据权利要求1所述的炉管装置，其特征在于，所述进气孔沿纵向设置一至多列。

10.根据权利要求1所述的炉管装置，其特征在于，所述进气孔沿纵向均匀排列成直列或曲折形列。