[实用新型]一种CVD反应器的支撑支架有效

专利信息
申请号: 202222600038.5 申请日: 2022-09-29
公开(公告)号: CN218236835U 公开(公告)日: 2023-01-06
发明(设计)人: 赖学明 申请(专利权)人: 苏州耀德半导体有限公司
主分类号: F16M11/04 分类号: F16M11/04;F16M11/24;F16M11/42;H05K7/20
代理公司: 苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623 代理人: 柯兴宇
地址: 215000 江苏省苏州市苏州工业园区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 cvd 反应器 支撑 支架
【权利要求书】:

1.一种CVD反应器的支撑支架,包括支撑板(1),其特征在于,所述支撑板(1)底部的四周均活动连接有万向轮(2),所述支撑板(1)的顶部活动安装有反应器主体(4),所述支撑板(1)的表面固定连接有液压伸缩杆(3),所述液压伸缩杆(3)的活动端贯穿支撑板(1),所述液压伸缩杆(3)的底部固定连接有支撑架(5),所述支撑板(1)内设置有散热风机(6),所述支撑板(1)的顶部固定连接有固定板(7),所述支撑板(1)的顶部固定连接有活动板(8)。

2.根据权利要求1所述的一种CVD反应器的支撑支架,其特征在于,所述支撑板(1)内开设有卡槽(9),所述卡槽(9)内滑动连接有移动板(10),所述移动板(10)的顶部与活动板(8)的底部固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种CVD反应器的支撑支架,其特征在于,所述移动板(10)的底部固定连接有弹簧(11),所述弹簧(11)的底部与卡槽(9)的内壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种CVD反应器的支撑支架,其特征在于,所述散热风机(6)的表面固定连接有导向块(12),所述支撑板(1)内开设有与导向块(12)配合使用的导向槽(13)。

5.根据权利要求4所述的一种CVD反应器的支撑支架,其特征在于,所述导向块(12)内贯穿有螺栓(14),所述导向槽(13)的内壁开设有与螺栓(14)配合使用的螺纹槽(15)。

6.根据权利要求1所述的一种CVD反应器的支撑支架,其特征在于,所述散热风机(6)的顶部和底部均固定连接有防尘网(16)。

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