[实用新型]一种CVD反应器的支撑支架有效
申请号: | 202222600038.5 | 申请日: | 2022-09-29 |
公开(公告)号: | CN218236835U | 公开(公告)日: | 2023-01-06 |
发明(设计)人: | 赖学明 | 申请(专利权)人: | 苏州耀德半导体有限公司 |
主分类号: | F16M11/04 | 分类号: | F16M11/04;F16M11/24;F16M11/42;H05K7/20 |
代理公司: | 苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623 | 代理人: | 柯兴宇 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州工业园区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 cvd 反应器 支撑 支架 | ||
1.一种CVD反应器的支撑支架,包括支撑板(1),其特征在于,所述支撑板(1)底部的四周均活动连接有万向轮(2),所述支撑板(1)的顶部活动安装有反应器主体(4),所述支撑板(1)的表面固定连接有液压伸缩杆(3),所述液压伸缩杆(3)的活动端贯穿支撑板(1),所述液压伸缩杆(3)的底部固定连接有支撑架(5),所述支撑板(1)内设置有散热风机(6),所述支撑板(1)的顶部固定连接有固定板(7),所述支撑板(1)的顶部固定连接有活动板(8)。
2.根据权利要求1所述的一种CVD反应器的支撑支架,其特征在于,所述支撑板(1)内开设有卡槽(9),所述卡槽(9)内滑动连接有移动板(10),所述移动板(10)的顶部与活动板(8)的底部固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种CVD反应器的支撑支架,其特征在于,所述移动板(10)的底部固定连接有弹簧(11),所述弹簧(11)的底部与卡槽(9)的内壁固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种CVD反应器的支撑支架,其特征在于,所述散热风机(6)的表面固定连接有导向块(12),所述支撑板(1)内开设有与导向块(12)配合使用的导向槽(13)。
5.根据权利要求4所述的一种CVD反应器的支撑支架,其特征在于,所述导向块(12)内贯穿有螺栓(14),所述导向槽(13)的内壁开设有与螺栓(14)配合使用的螺纹槽(15)。
6.根据权利要求1所述的一种CVD反应器的支撑支架,其特征在于,所述散热风机(6)的顶部和底部均固定连接有防尘网(16)。
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