[实用新型]一种用于单晶炉复投筒的稳定设备有效

专利信息
申请号: 202222606087.X 申请日: 2022-09-30
公开(公告)号: CN218372618U 公开(公告)日: 2023-01-24
发明(设计)人: 马潇;黄永金;韩飞宇;王淼;贾海洋;张强;周宏邦;娄中士;王立刚;王彦君;孙晨光;田旭东 申请(专利权)人: 内蒙古中环领先半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司
主分类号: C30B15/02 分类号: C30B15/02;C30B29/06
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 单晶炉复投筒 稳定 设备
【权利要求书】:

1.一种用于单晶炉复投筒的稳定设备,可与复投筒连接,其特征在于:包括稳定台以及用于固定所述稳定台的固定杆,所述稳定台的顶部与所述复投筒底部的锥台连接,所述固定杆可带动所述稳定台位移,以使所述稳定台贴合所述锥台。

2.根据权利要求1所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述固定杆与所述稳定台之间设有第一连接件。

3.根据权利要求2所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述固定杆靠近所述复投筒的侧面设有第二连接件,其通过所述第二连接件与所述复投筒外壁连接。

4.根据权利要求3所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述稳定台通过第三连接件与所述复投筒外壁连接。

5.根据权利要求4所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述第三连接件与所述复投筒之间设有第四连接件,所述第四连接件远离所述第三连接件的端部与所述复投筒外壁连接。

6.根据权利要求5所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述第四连接件的顶端和/或所述第二连接件的顶端与所述稳定台的顶端在一条水平线上。

7.根据权利要求1-6任一项所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述固定杆远离所述稳定台的端部连接移动组件,所述移动组件可带动所述固定杆位移,进而带动所述稳定台位移。

8.根据权利要求7所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述移动组件包括伸缩杆、电机和基座,所述基座通过所述伸缩杆与所述固定杆连接,所述电机设置在所述基座上且其可控制所述伸缩杆的伸出和回缩。

9.根据权利要求8所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述基座上设有滑槽,所述伸缩杆底部可沿所述滑槽位移。

10.根据权利要求1所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述稳定台与所述锥台形状相匹配。

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