[实用新型]一种用于单晶炉复投筒的稳定设备有效
申请号: | 202222606087.X | 申请日: | 2022-09-30 |
公开(公告)号: | CN218372618U | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 马潇;黄永金;韩飞宇;王淼;贾海洋;张强;周宏邦;娄中士;王立刚;王彦君;孙晨光;田旭东 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶炉复投筒 稳定 设备 | ||
1.一种用于单晶炉复投筒的稳定设备,可与复投筒连接,其特征在于:包括稳定台以及用于固定所述稳定台的固定杆,所述稳定台的顶部与所述复投筒底部的锥台连接,所述固定杆可带动所述稳定台位移,以使所述稳定台贴合所述锥台。
2.根据权利要求1所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述固定杆与所述稳定台之间设有第一连接件。
3.根据权利要求2所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述固定杆靠近所述复投筒的侧面设有第二连接件,其通过所述第二连接件与所述复投筒外壁连接。
4.根据权利要求3所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述稳定台通过第三连接件与所述复投筒外壁连接。
5.根据权利要求4所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述第三连接件与所述复投筒之间设有第四连接件,所述第四连接件远离所述第三连接件的端部与所述复投筒外壁连接。
6.根据权利要求5所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述第四连接件的顶端和/或所述第二连接件的顶端与所述稳定台的顶端在一条水平线上。
7.根据权利要求1-6任一项所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述固定杆远离所述稳定台的端部连接移动组件,所述移动组件可带动所述固定杆位移,进而带动所述稳定台位移。
8.根据权利要求7所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述移动组件包括伸缩杆、电机和基座,所述基座通过所述伸缩杆与所述固定杆连接,所述电机设置在所述基座上且其可控制所述伸缩杆的伸出和回缩。
9.根据权利要求8所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述基座上设有滑槽,所述伸缩杆底部可沿所述滑槽位移。
10.根据权利要求1所述的用于单晶炉复投筒的稳定设备,其特征在于:所述稳定台与所述锥台形状相匹配。
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