[实用新型]硅漂移探测器的封装结构有效
申请号: | 202222606708.4 | 申请日: | 2022-09-30 |
公开(公告)号: | CN218447924U | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 赵珍阳;范茂军;赵英勃;赵玉新;侯维杰 | 申请(专利权)人: | 山东东仪光电仪器有限公司 |
主分类号: | H01L31/0203 | 分类号: | H01L31/0203;G01D21/02 |
代理公司: | 深圳市深弘广联知识产权代理事务所(普通合伙) 44449 | 代理人: | 易涵冰 |
地址: | 264000 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 漂移 探测器 封装 结构 | ||
1.一种硅漂移探测器的封装结构,其特征在于,包括壳体,壳体形成有入射窗口,所述入射窗口嵌合有铍片,所述铍片用于放射线入射;在所述壳体的容置腔内还设置有:
硅漂移探测元件,第一表面与所述入射窗口对应设置;
准直器,与所述硅漂移探测元件连接,且设置于第一表面靠近所述入射窗口的一侧;
放大器,与所述硅漂移探测元件电连接,用于放大所述硅漂移探测元件的输出信号;
陶瓷基座,与所述硅漂移探测元件连接,设置于所述硅漂移探测元件远离所述准直器的一侧;其中,所述陶瓷基座的表面设置有至少两个凹槽,所述凹槽内嵌合有绝压传感器和/或温度传感器,所述绝压传感器和所述温度传感器用于向外界输出压力信号和温度信号;
制冷器,设置于所述陶瓷基座远离所述硅漂移探测元件的一端,且至少包括两层并联耦接的半导体制冷结构层;所述半导体制冷结构层与所述陶瓷基座远离所述硅漂移探测元件的一侧紧贴,以形成热传递结构。
2.根据权利要求1所述的硅漂移探测器的封装结构,其特征在于,所述准直器为准直圆环结构,且所述准直圆环结构的外环边设置有一个或多个缺口,所述缺口内设置有所述温度传感器或所述绝压传感器。
3.根据权利要求2所述的硅漂移探测器的封装结构,其特征在于,所述准直器靠近所述入射窗口的一侧还设置有隔热绝缘垫片,所述隔热绝缘垫片在硅漂移探测元件上的正投影面积小于或等于所述准直器在硅漂移探测元件上的正投影面积。
4.根据权利要求1-3任一项所述的硅漂移探测器的封装结构,其特征在于,所述陶瓷基座为氮化硼陶瓷基座或氮化硅陶瓷基座;所述硅漂移探测元件贴装于所述陶瓷基座的表面,且所述陶瓷基座的边缘还设有多个电极焊点,所述电极焊点与所述硅漂移探测元件和所述放大器电连接,且电极焊点还连接有引出线,所述引出线用于向外界输出信号,并提供所述硅漂移探测元件的工作电压。
5.根据权利要求4所述的硅漂移探测器的封装结构,其特征在于,所述绝压传感器和所述温度传感器的输出端通过所述电极焊点向外界输出压力信号和温度信号;
所述放大器包括场效应三极管,所述场效应三极管贴设于所述硅漂移探测元件的边缘,且所述场效应三极管的输入端与所述硅漂移探测元件的输出端耦接,所述场效应三极管的输出端与所述电极焊点耦接。
6.根据权利要求4所述的硅漂移探测器的封装结构,其特征在于,所述陶瓷基座的转角结构处设置所述凹槽,所述凹槽避让所述电极焊点设计。
7.根据权利要求4所述的硅漂移探测器的封装结构,其特征在于,所述电极焊点为金焊点;所述引出线为金引线。
8.根据权利要求7所述的硅漂移探测器的封装结构,其特征在于,所述壳体远离所述入射窗口的一端设置有壳体底座基板,所述壳体和所述壳体底座基板固定连接形成密封腔体,所述壳体底座基板上贯穿设置有引线柱,所述引线柱位于所述壳体内的部分与所述金引线固定连接,且所述引线柱与所述制冷器间隙设置;且所述壳体底座基板的外表面还设置有导热柱,所述导热柱设置于多根所述引线柱围绕的中部。
9.根据权利要求8所述的硅漂移探测器的封装结构,其特征在于,所述引线柱与所述壳体相交的部分填充烧结形成有玻璃釉结构层;所述引线柱套设有陶瓷管。
10.根据权利要求1所述的硅漂移探测器的封装结构,其特征在于,所述绝压传感器为硅绝压传感器,所述温度传感器为铂电阻温度传感器。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东东仪光电仪器有限公司,未经山东东仪光电仪器有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202222606708.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种沉井开挖定位装置
- 下一篇:拉伸整形模具
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的