[实用新型]过滤装置及真空沉积设备

权利要求书

1.一种过滤装置，其特征在于，包括过滤罐(100)和送粉组件(200)，所述过滤罐(100)内设有过滤组件(300)，所述过滤组件(300)将所述过滤罐(100)的罐内空间分隔为过滤腔体(110)和洁净腔体(120)，所述过滤罐(100)与所述过滤腔体(110)相应的罐壁设有进气口(151)、与所述洁净腔体(120)相应的罐壁设有抽真空口(152)；所述送粉组件(200)的送粉口(210)与所述过滤腔体(110)连通，用于向所述过滤腔体(110)内送入阻燃粉体。

2.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述进气口(151)连接有进气接头(154)，所述进气接头(154)的侧壁设有连通口，所述送粉组件(200)连接于所述进气接头(154)，且所述送粉口(210)通过所述连通口与所述进气接头(154)连通。

3.根据权利要求1或2所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤罐(100)内沿其周向围设有环形台(161)，所述过滤组件(300)包括圆形的载板(310)和设于所述载板(310)底部的滤筒(320)，所述滤筒(320)的顶部贯穿所述载板(310)且敞口设置，所述滤筒(320)的底部封闭设置；所述载板(310)同心搭接于所述环形台(161)，且与所述环形台(161)可拆卸式固接；所述过滤罐(100)的顶盖与罐体(140)可拆卸式连接。

4.根据权利要求3所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤罐(100)与所述洁净腔体(120)相应的罐壁设有插接孔(141)，所述插接孔(141)密封插接有吹气管(162)，且所述吹气管(162)的吹气端插入所述滤筒(320)内；所述过滤罐(100)设有用于改变所述进气口(151)封堵状态的进气阀门(156)，以及用于改变所述抽真空口(152)封堵状态的抽气阀门(157)。

5.根据权利要求4所述的过滤装置，其特征在于，所述吹气管(162)包括插接于所述插接孔(141)的水平管段(1621)和连接于所述水平管段(1621)内端的竖直管段(1622)，所述竖直管段(1622)插入所述滤筒(320)，所述水平管段(1621)伸出所述插接孔(141)的长度为a，所述竖直管段(1622)与相应所述滤筒(320)背离所述吹气管(162)进气端一侧的筒壁的水平间距为b，b＞a。

6.根据权利要求4所述的过滤装置，其特征在于，所述进气口(151)低于所述滤筒(320)；所述吹气管(162)插入所述滤筒(320)的长度为c，所述滤筒(320)的长度为d，c＝(1/5～1/3)d。

7.根据权利要求4所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤装置还包括反吹清洁组件(400)，所述反吹清洁组件(400)包括反吹气罐(410)和连接于所述反吹气罐(410)的输气管(420)，所述输气管(420)设有吹气阀门(430)；所述过滤罐(100)的罐壁设有安装座(163)，所述反吹气罐(410)安装于所述安装座(163)，所述输气管(420)与所述吹气管(162)的进气端连接。

8.根据权利要求7所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤装置还包括控制器，所述洁净腔体(120)内设有真空计(164)，所述真空计(164)、所述进气阀门(156)、所述抽气阀门(157)、所述吹气阀门(430)及所述送粉组件(200)均与所述控制器连接。

9.根据权利要求1或2所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤腔体(110)位于所述洁净腔体(120)的下方，所述过滤腔体(110)自上向下包括容置区(111)和锥形汇集区(112)，所述锥形汇集区(112)的缩口端位于底部，且所述缩口端设有排尘口(153)，所述排尘口(153)处设有封堵门(158)。

10.一种真空沉积设备，其特征在于，包括真空舱室、抽真空装置和权利要求1-9任一项所述的过滤装置，所述过滤装置的进气口(151)与所述真空舱室连通、抽真空口(152)与所述抽真空装置的抽气端口连通。