[实用新型]一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置

权利要求书

1.一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，其特征在于：包括底座（1），所述底座（1）的上方连接有用于对晶圆位置限定的定位座（12），所述底座（1）的一侧连接有滑动板（2），所述滑动板（2）前后滑动在底座（1）上，所述底座（1）与滑动板（2）之间设置有连接在滑动板（2）上的活动板（3），所述活动板（3）的一侧连接有安装架（10），所述安装架（10）的上连接有用于实现对晶圆撕膜和贴膜的处理机构，所述处理机构位于定位座（12）的上方；

所述处理机构包括连接在安装架（10）上的U型板（11），所述U型板（11）的内部从左至右连接有压膜辊（16）、膜辊（14）和撕膜辊（15），所述压膜辊（16）和撕膜辊（15）均与定位座（12）上的晶圆接触，撕膜辊（15）与定位座（12）上晶圆先接触对其撕膜，随后膜辊（14）上的膜体经过压膜辊（16）贴在晶圆上。

2.如权利要求1所述的多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，其特征在于：所述压膜辊（16）为橡胶辊。

3.如权利要求1所述的多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，其特征在于：所述膜辊（14）的中部连接有转轴（13），所述U型板（11）的一端连接有电机，所述转轴（13）的一端贯穿U型板（11）与转轴（13）连接。

4.如权利要求1所述的多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，其特征在于：所述底座（1）的一侧设有滑道，所述活动板（3）相对的一侧连接有位于滑道内的滑轮（7）。

5.如权利要求4所述的多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，其特征在于：所述滑道包括横向设置的直线滑道（8）以及设置在直线滑道（8）上方的弧线滑道（9），所述弧线滑道（9）与直线滑道（8）连通，所述弧线滑道（9）与直线滑道（8）连通的一端铰接有挡板（17）。

6.如权利要求1所述的多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，其特征在于：所述底座（1）的一侧开设有滑槽（5），所述滑槽（5）的内部连接有丝杠（6），所述滑动板（2）相对底座（1）的一侧连接有连接臂（4），所述连接臂（4）螺纹连接在丝杠（6）上。

7.如权利要求1所述的多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，其特征在于：所述滑动板（2）上开设有定位孔（18），所述活动板（3）相对滑动板（2）的一侧连接有限位块（19），所述限位块（19）滑动于定位孔（18）内。